다양한 반도체 공정 중에서 최근 가장 각광을 받는 건 계측검사(MI)다. MI는 공정 전·후에 웨이퍼와 다이(die)의 상태를 점검하는 단계다. 장비 종류가 워낙 다양하고 공정 난이도가 높지 않았던 이전에는 쓰임새가 적었지만, 공정 난이도가 해마다 급격히 올라가면서 장비 대수도 늘고 있고 중요성도 커지고 있다.이에 인공지능(AI)이 가장 먼저 도입될 분야로 MI가 꼽히고 있다. EUV의 MI, 가장 큰 문제는MI가 발목을 잡은 대표적인 기술이 극자외선(EUV) 공정이다. 공정 기술은 특성상 장비부터 소재, 계측검사 등 다양한 생태계
ASML이 중국 우시(无锡)에서 리소그라피 장비 사후 서비스를 강화하기 위한 기지를 건설한다. 14일 중국 우시 가오신(高新)구와 ASML이 리소그라피 장비 기술 서비스 기지를 위한 전략적 협력 협약식(Signing Ceremony of Technical Service Wuxi Base for Lithography Systems)을 개최했다. 발표에 따르면 ASML은 이번 협약을 통해 리소그라피 장비 기술 서비스 기지를 확장하게 된다. 이 기지에는 '기술 센터'와 '공급망 서비스 센터'가 있다. 중국 업
중국이 세계 처음 법정 디지털 화폐를 선보이기 위해 속도를 내고 있다. 이미 지난 2013년부터 준비해왔는데 이번 코로나19 사태 이후 비대면 서비스가 확산하고 지폐나 동전 등을 통한 전염 우려로 전자결제 수요까지 급증하면서 디지털화폐 도입을 서두르고 있는 것으로 풀이된다. 일각에서는 중국이 디지털 화폐를 무기로 위안화의 세계적 위상을 굳히려는 시도로 보고 경계심도 높이고 있다. 지난 16일 중국 블록체인 전문 매체 선차오에 따르면 중국 중앙은행인 인민은행은 선전, 슝안, 청두, 쑤저우 등 4곳에서 디지털 화폐(CBDC)를 시범 유
최근 정유·화학 산업에서 시설·설비의 노후화와 안전 관리 미흡으로 인한 화재 및 안전 사고 우려가 커지고 있다. 이같은 고위험 산업의 사고는 이를 미리 예방하고, 효율적으로 관리하는 시스템이 중요하다.슈나이더일렉트릭(지사장 김경록)은 산업용 사물인터넷(lloT) 안전 솔루션을 통해 석유화학, 정제, 파이프라인 등 고위험군 산업의 공정 안전 강화에 힘쓰고 있다고 7일 전했다.슈나이더일렉트릭의 공정자동화 솔루션은 운영 효율성을 높이고 사물인터넷(IoT) 지원 통합 아키텍처 플랫폼인 에코스트럭처(EcoStruxure)를 기반으로 한다.
반도체 중고 장비와 리퍼비시(Refurbish) 시장이 성장하고 있다. 조 단위 투자가 들어가면서 300㎜ 웨이퍼 생산 라인을 중고 장비로 채우는 경우가 늘어나고 있고, 직전 세대인 200㎜ 장비는 없어서 못 산다는 얘기까지 나오고 있는 상황이다.삼성전자를 포함한 반도체 제조사들도 투자 부담에 신규 장비 대신 리퍼비시한 중고 장비를 채택하면서 램리서치, 어플라이드머티어리얼즈(AMAT), ASML 등 글로벌 반도체 장비 업체들도 리퍼비시(Refurbish) 사업에 나섰다. 웨이퍼의 직경 발전은 300㎜에서 멈췄다반도체 업계가 200㎜
로직(Logic)에 이어 D램에도 극자외선(EUV) 공정이 도입된다.삼성전자가 업계 처음으로 EUV 공정 기반의 1α나노(14나노) D램 양산 체제를 구축했다. SK하이닉스 역시 차세대 D램에 EUV 기술을 적용할 계획이다. 삼성전자와 마찬가지로 1α 나노부터다. 반면 마이크론은 1c나노까지 액침불화아르곤(ArFi) 기반 심자외선(DUV) 패터닝 기술을 활용할 계획이다. 새로운 기술이다보니 양산 및 램프업(Ramp-up) 기간이 오래 걸릴 것이라는 이유에서다. EUV로 얻을 수 있는 이익과 EUV에 드는 비용, 무엇이 더 큰가그러나
SMIC가 구매한 ASML의 노광장비가 세관을 거쳐 공장으로 반입됐다. 단 극자외선(EUV) 장비는 아니다. SMIC는 4일 ASML로 부터 사들인 한 대의 대형 노광장비를 순조롭게 선전(深圳) 공장에 반입했다고 밝혔다. SMIC에 따르면 핑산(坪山)세관의 서비스 조치에 따라 골든타임 내에 공장에 장비를 반입할 수 있었다. SMIC의 선전 공장은 선전시 핑산구에 위치했으며 한 개의 200mm(8인치) 파운드리 공장을 통해 0.35㎛에서 90nm 공정 서비스를 한다. 선전 공장은 최근 늘어난 200mm 생산능력 수요에 대응하기 위한
‘세기의 경영자’로 추앙받기도, 인간 ‘중성자 폭탄’이라는 별칭도 얻었던 잭 웰치 전 제너럴 일렉트릭(GE) 회장 겸 최고경영자(CEO)가 향년 84세의 일기로 별세했다. GE는 지난 2일(현지시간) 성명을 통해 잭 웰치 전 회장이 이날 타계했다는 안까타운 소식을 발표하며 애도했다. 웰치 전 회장은 지난 1935년 11월 미 매사추세츠에서 태어났다. 부친은 철도기관사였다. 메사추세츠 에머스트 대학에서 화학공학을 전공하고, 1960년 일리노이대학에서 박사학위를 취득했다.그는 1960년 화학 엔지니어로 GE에 첫발을 들인 뒤 1972년
삼성전자 파운드리 사업부가 5나노 설비 투자를 시작했다. 이미 노광 스캐너는 반입이 끝났고 나머지 장비도 발주(PO)가 나오고 있다. 이르면 3분기 초도 양산에 돌입할 계획이지만, 이달 양산에 들어가는 대만 TSMC보다 6개월 이상 더디다.투자 결정부터 늦었다. TSMC는 지난해 3~4분기 5나노 증설 투자에 들어갔다. 장비 업계는 TSMC의 양산 일정을 맞추기 위해 한참 바쁜 상황이다. 물량도 TSMC가 훨씬 많아 상대적으로 삼성전자를 위한 대응이 느릴 수밖에 없다. 엎친데덮친 격으로 신종 코로나바이러스감염증(코로나-19)까지 말
지난달 우리나라 수출이 15개월만에 상승세로 반전했으나 코로나19라는 돌발 악재의 여파가 현실화하고 있다. 조업일수를 제외한 하루 평균 전체 수출액과 최대 교역국인 중국 수출액이 급감한 것으로 나타났기 때문이다. 코로나19 확산세가 장기화한다면 우리 수출에 미칠 악영향은 더욱 커질 것으로 우려된다. ◇ 수출 15개월 만에 상승세…그러나 코로나19 직접 영향권에 진입1일 산업통상자원부는 지난 2월 수출이 지난해 같은 달보다 4.5% 증가한 412억6천만달러로 잠정 집계됐다고 밝혔다. 지난 2018년 12월부터 14개월 연속 마이너스에
ASML의 지난해 메인 고객사는 파운드리 업체를 포함한 로직(Logic) 반도체 업계였다.ASML은 지난해 1년 간 118억 유로(약 15조2169억원)의 매출과 26억 유로(약 3조3548억원)의 영업이익을 달성했다고 22일 밝혔다. 매출은 전년 대비 8% 증가했고, 영업이익은 비슷한 수준이었다. 지난 2018년 ASML의 고객 중 절반 이상이 메모리 업체들이었다면, 지난해 ASML의 주요 고객은 로직 반도체 업계였다. 올해 전체 매출 중 설비 기반 사업 (Installed Base Business)을 제외한 89억9600만유로(
[편집자주] 첨단 제조업계 종사자들은 어떤 콘텐츠에 주목할까요? 첨단산업 전문매체 KIPOST 뉴스레터 회원들이 한주간 눈여겨 보셨던 기사를 순서대로 정리했습니다. KIPOST는 국내 4대 제조 대기업(삼성, LG, SK, 현대) 계열사 재직자를 비롯해 IT, 자동차 등 대한민국을 이끄는 산업계, 금융계, 정부 유관 기관과 학계 등 다양한 분야에서 보고 계십니다. 1. SK텔레콤, AI 가속기(AIX) 본격 사업화… ASIC 개발 시작2. AP시스템, BOE 충칭 ELA 성능평가 낙승3. 반도체 세정 장비 업계 "유해물질 사용량을
중국 반도체 장비 기업 AMEC이 중국 메모리 반도체 대표 기업 창장메모리(YMTC)로부터 9대의 에칭장비 주문을 수주했다고 밝혔다. 지난해 AMEC은 연간 YMTC의 장비 총 13대를 수주했다. AMEC은 YMTC의 대규모 주문을 받은 것이 중국산 반도체 장비산업의 밝은 미래를 보여주는 동시에 장비 기업으로서 변환점을 돌고 장기적 새로운 단계로 진입하는 것이라며 이번 수주건에 의미를 뒀다. 2018, 2019, 2020년 YMTC는 AMIC에 각각 2대, 5대, 10대+의 장비를 주문해 내년 전년 대비 갑절 이상의 매출 기여를 했
ASML코리아는 2020년 1월 1일자로 ASML 삼성고객 담당 총괄 임원이였던 이우경 부사장을 신임 사장으로 선임했다고 6일 밝혔다.이 사장은 반도체 업계에서만 33년 간의 업력을 가진 이 분야 베테랑이다. 그 중 3분의1을 ASML에서 보냈다.이 사장은 인하대학교 응용물리학과 학·석사를 졸업한 후 현대전자(현 SK하이닉스)와 노벨러스(Novellus)를 거쳐 지난 2009년 ASML코리아에 합류했다. 이후 하이닉스 담당 매니저, 본사 영업(Sales) 임원, 삼성 담당 임원을 거쳤다.이 사장은 "“ASML의 중요한 시장인 한국에
중국 장비기업 나우라(NAURA)는 상하이반도체연구개발센터유한회사(ICRD)와 공동으로 나우라의 'NMC612D ICP(inductively coupled plasma) 에칭장비(Etcher) 등 중국산 장비를 채용해 14nm 핀펫(FinFET) 셀프얼라인더블패터닝(SADP, Self-aligned Double Patterning) 관련 공정을 자체적으로 개발했다고 밝혔다. 각 공정 지표가 양산 요구에 부합해 14nm 핵심 공정 기술에 있어 중요한 진전을 이뤘다고 설명했다. 최근 반도체 선폭이 감소하면서 SADP를 통해 19
중국 반도체 재료 기업이 포토레지스트 개발을 위한 장비를 반입해 내년 양산할 계획이라고 밝혔다. 중국 상하이신양(SHANGHAI SINYANG)은 투자자 교류 플랫폼을 통해 "KrF 포토레지스트에 맞는 포토리소그래피 장비를 이미 반입해 설치하고 조율을 시작했다"며 "내년 상반기 중 테스트에 돌입할 것"이라고 공개했다. 앞서 상하이신양은 "포토리소그래피 장비, 인재와 핵심 원재료 이 세 가지 주요 제약 요소로 인해 중국에서 반도체용 포토레지스트 연구개발 진척도가 매우 늦었다"고 밝힌 바 있다. 비록 회사가 '제로(0)'
네덜란드 ASML의 노광장비 시장 독점 상황에 대항하기 위해 중국에서 육성되고 있는 장비 기업이 중국 과창반(科创板)에 이름을 올렸다. 15일 중국 베이징증권감독국은 베이징 '유프리시전(U-Pricision)'이 과창반에 등록됐다고 밝혔다. 과창반은 중국에서 커촹반(科创板)이라고 불리는 일종의 미국 나스닥 같은 주식거래 시장이다. 유프리시전은 중국에서 노광기 개발에 주력하는 기업으로서 이미 다양한 장비를 보유하고 있다. 회사는 최근 자사가 생산한 노광기 듀얼 스테이지 장비가 ASML의 스테이지 기술 독점을 깼다고 발표
삼성디스플레이가 QD디스플레이 제조 공정에 스마트폰용 유기발광다이오드(OLED)에 사용하던 박막봉지(TFE) 기술을 적용한다. TFE는 투명하고 잘 휘지만, 투자비가 비싸 그동안 플렉서블 OLED에 한정적으로 사용해왔다.QD디스플레이는 퀀텀닷(QD)이 적용된 색변환층과 청색 OLED 발광층이 합착된 구조인데, TFE는 이 청색 OLED를 1차적으로 보호하기 위해 사용된다.스마트폰 전용 TFE, 대면적 OLED에 첫 적용 TFE 기술은 스마트폰용 OLED 등 소형 디스플레이에 사용되어 온 기술이다. 무기막과 유기막을 번갈아 수직으로
극자외선(EUV) 노광기를 만들 때 ASML의 고민 중 하나는 장비 내부에서 발생하는 진동·소음(잡음, noise)을 어떻게 해결할 것이냐였다.마스크 스테이지를 좁은 영역에서 빠르게 이동시키기 위해서는 고출력을 낼 수 있는 철코어 선형 모터가 적합했지만, 모터 자체에서 나오는 잡음을 줄이기가 쉽지 않았다. 이 잡음을 기존보다 95% 이상 줄인 철코어 선형(Linear) 모터가 개발됐다. 윤준영 연세대 교수, 소리없이 강한 철코어 선형 모터 개발 ASML은 지난달 23일 개최된 ‘ASML 테크토크(Tech talk) 2019’ 행사에
그동안 중요도에서 후순위로 밀렸던 반도체 계측·검사(MI) 공정이 제조 기술 고도화와 함께 재평가받고 있다. 적층 및 고종횡비(HAR) 구조가 일반화되면서 MI 기술이 팹 생산성을 좌우하는 수준에 달했기 때문이다. 다만 고질적 문제인 낮은 성능과 적은 처리량(Throughput)은 좀처럼 개선하지 못하는 모양새다. 업계는 인공지능(AI)·가상화(Virtualization) 등 신기술 도입을 통해 한계 극복에 나섰다. MI, 반도체 9대 공정으로 부각통상 ‘반도체 8대 공정’은 ▲웨이퍼 ▲산화 ▲노광 ▲식각 ▲박막 ▲금속배선 ▲EDS