반·디 장비 내 모터 골칫거리 잡음 해결하다
반·디 장비 내 모터 골칫거리 잡음 해결하다
  • 김주연 기자
  • 승인 2019.09.16 16:11
  • 댓글 0
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윤준영 연세대 교수, 고성능 철코어 선형 모터 잡음 95% 줄여
노광·물류·계측 장비 활용 가능… 진공 장비용으로도 개발 중
극자외선(EUV) 노광기를 만들 때 ASML의 고민 중 하나는 장비 내부에서 발생하는 진동·소음(잡음, noise)을 어떻게 해결할 것이냐였다.

마스크 스테이지를 좁은 영역에서 빠르게 이동시키기 위해서는 고출력을 낼 수 있는 철코어 선형 모터가 적합했지만, 모터 자체에서 나오는 잡음을 줄이기가 쉽...
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