SMIC, ASML DUV 장비 반입...EUV는 '아직'
SMIC, ASML DUV 장비 반입...EUV는 '아직'
  • 유효정 기자
  • 승인 2020.03.09 17:52
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선전 공장 소재 8인치 생산능력 확장 차원
SMIC가 구매한 ASML의 노광장비가 세관을 거쳐 공장으로 반입됐다. 단 극자외선(EUV) 장비는 아니다.

SMIC는 4일 ASML로 부터 사들인 한 대의 대형 노광장비를 순조롭게 선전(深圳) 공장에 반입했다고 밝혔다.

SMIC에 따르면 핑산(坪山)세관의 서비스 조치에 따라 골든타임 내에 공장에 장비를 반입할 수
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