中 나우라-국책 기관, 중국산 장비 기반 14nm 핀펫 SADP 공정 개발
中 나우라-국책 기관, 중국산 장비 기반 14nm 핀펫 SADP 공정 개발
  • 유효정 기자
  • 승인 2019.12.06 13:25
  • 댓글 0
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5nm SAQP 공정 개발 기반 형성 기대
중국 장비기업 나우라(NAURA)는 상하이반도체연구개발센터유한회사(ICRD)와 공동으로 나우라의 'NMC612D ICP(inductively coupled plasma) 에칭장비(Etcher) 등 중국산 장비를 채용해 14nm 핀펫(FinFET) 셀프얼라인더블패터닝(SADP, Self-aligned Double Patterning) 관련 공정을 자체적으로 개발했다고 밝혔다.

각 공정 지표가 ...
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