중국 장비 기업 나우라(NAURA)가 지난해 큰 폭의 순익 성장을 기록한 것으로 추산하고 있다. 

중국 언론 아이지웨이에 따르면 나우라는 지난해 상장사귀속주주 순익이 4억6000만 위안에서 5억8000만 위안(약 788억5300만 원~994억2400만 원) 수준이 될 것으로 내다봤다. 이는 지난해 대비 48.85%~87.68% 늘어난 것이다. 

나우라는 지난해 하위 공급망 고객의 수요가 왕성한 동시에 회사가 코로나19에 적극적으로 대응하면서 빠른 업무 복귀와 연구개발, 생산, 수주 등을 정상적으로 진행해 이같은 성과를 냈다고 설명했다. 중국에서 코로나19 확산이 더뎌지자, 수요가 늘어나면서 회사의 실적도 성장했단 것이다. 

회사의 반도체 장비에서 에처, 물리증착(PVD), 화하증착(CVD), 버티컬스토브(Vertical Stove), 세정장비 등을 취급하고 있다. 또 IC, 파워 부품, 화합물반도체, 첨단 패키징, 태양광, 신형 디스플레이 영역 등으로도 사업 영역을 확장해 공급망을 넓히고 있다. 

지난해 연말까지 '유도결합플라스마(ICP, inductively coupled plasma) 에처'를 이미 1000대 납품했다. 이 식각기술을 반도체, LED, 첨단 패키징, 파워반도체, MEMS, 화합물반도체, 실리콘 기반 마이크로디스플레이 등 다양한 영역에 적용했다. 

이중 12인치 ICP 에처는 고객의 28nm 라인에서 외산을 중국산으로 대체했다. 동시에 14nm와 7nm SADP(Self-Aligned double patterning)/SAQP(Self-Aligned Quadruple patterning), 첨단 메모리, 3D TSV 등 공정에서도 중요한 역할을 하고 있다. 

나우라는 올해가 회사의 창립 20주년이 되는 해 라며, 고객 수요에 맞춰 지속적으로 기술과 상품 혁신을 추진하겠다는 각오도 드러냈다.