미세 공정 핵심 공장

중국 신화망에 따르면 올해 1분기 완공된 SMIC의 상하이 공장에 장비 반입이 이뤄지고 있다. 이어 최종 조율 작업을 완료하고 올 가을 시생산을 시작할 예정이다.

이 공장 건설과 운영은 SMIC와 중국 국가반도체산업투자펀드, 그리고 상하이시 지방펀드가 공동으로 합자해 세운 '중신(中芯)남방반도체제조유한회사'가 맡고 있다. 반도체 개발과 제조, 테스트 등 관련 기술 개발과 서비스를 한다. 14nm 이하 공정 및 제조 기술에 주력하며 목표는 한 생산라인에서 월 3만5000개의 웨이퍼를 생산하도록 설계된다. 'SN1'과 'SN2' 두 개의 생산라인에서 각각 월 3만5000개의 칩을 생산한다. 

SMIC 로고. /SMIC 제공
SMIC 로고. /SMIC 제공

 

이 프로젝트 총 투자액은 102억4000만 달러(약 12조 4078억 원)다.

이번 프로젝트로 지어질 공장이 모두 양산에 돌입하면 월 9.2만 개의 12인치 생산능력, 월 11만 개의 8인치 생산능력을 갖게 디며 0.35㎛~14nm 공정을 적용한다. 이는 중국에서 가장 앞선 기술이면서 규모적으로도 핵심적인 역할을 하는 공장이 될 것으로 본다.  

지난해 1월 SMIC는 산하 중신남방반도체제조유한회사 지분을 늘리고 32억9000만 달러에서 35억 달러(약 4조2409억 원)로 등록 자본금을 늘렸다. 

앞서 SMIC의 량멍쑹 CEO는 1분기 실적 보고서에서 "중신남방반도체제조유한회사의 핀펫(FinFET) 공장이 순조롭게 지어지고 있으며 향후 생산 단계로 진입할 것"이라고 언급했다. 

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