국제 반도체 장비재료협회(SEMI)에 따르면 전세계 반도체 장비 시장은 지난해 1130억달러 규모(약 166조원)로 6.5% 성장, 사상 최대치를 기록했다. 올해와 내년에도 각각 1210억달러(약 177조9000억원), 1390억달러(약 204조3000억원)에 달할 전망이다.

이 중 중국 반도체 장비 산업은 2024년 400억달러(약 58조7880억원)를 넘어서면서 약진하고 있다. 중국 내수 시장의 성장과 정부 지원이 장비 업체들의 성장을 이끌고 있다. 이와 더불어 미국이 대중국 수출 규제에 나서면서 중국 반도체 업계의 자국 생산 장비 비율이 높아지고 있어 앞으로 이같은 성장세는 지속될 것으로 예상된다.   

중국 아이지웨이 지식재산 컨설팅은 중국 장비 기업들의 특허를 분석해 상위 20개 업체를 선정했다. 

아이지웨이에 따르면, 중국 장비 업계의 성장은 R&D(연구개발)과 더불어 이뤄졌다. 특히 지적재산(IP) 경쟁력이 장비 업체의 매출, 영업이익, 성장 잠재력과 밀접한 관련을 보였다.  

IP 경쟁력은 중국 반도체 장비 기업들의 최근 3년간 국내외 특허 출원 건수, 인용 건수 등을 종합적으로 분석해 도출했다.

IP경쟁력이 가장 앞선 기업은 베이징 나우라 테크놀로지 그룹(北方华创)으로, 7568개의 특허를 보유하고 있다. 3년간 특허 출원 건수는 28.27% 신장됐다. 이 회사는 '중국판 어플라이드머티리얼즈'라고 불리며 반도체 클리닝(세정), 에칭(식각)을 비롯한 다양한 장비를 공급한다. 최근에는 HBM(고대역폭) 메모리용 TSV(실리콘관통전극) 장비도 개발한 것으로 알려졌다.  

리소그래피 및 CVD(기상증착) 전문 기업 상하이 마이크로일렉트로닉스(上海微电子, SMEE), 클리닝 및 열증착 장비 업체  AMEC(中微公司)이 그 뒤를 이었다. 이 기업들은 3년간 1500건 이상의 특허를 출원했다.

중국과학원 산하 반도체 장비 개발 조직인 광전연구소(IOE)와 중국 전자과기그룹 연구소 등도 특허 경쟁력이 수위에 올랐다. 이 기관들이 개발한 기술들은 중국 내 장비 기업들로 이전된다. 

1000건 이상 특허 출원 기업이 작년 평가에서는 5개 업체에 불과했지만, 지난해 특허 출원이 활발하게 이뤄지면서 15곳으로 증가했다.