중국 파운드리 SMIC가 자회사 SMSC(Semiconductor Manufacturing South China Corp)를 통해 14/10nm 핀펫 공정을 여전히 제공하고 있다고 디지타임스가 7일 보도했다. 앞서 지난 5월 SMIC는 자사 홈페이지에서 핀펫 공정 서비스 항목을 삭제했다. 이에 업계는 SMIC가 미국 행정부 제재 탓에 ‘로키(Low-key)’ 전략으로 대응하기 위해 관련 항목을 지운 것으로 판단했다.

다만 디지타임스는 SMSC의 핀펫 공정 수율이 높지는 않은 상태라고 설명했다. 또 중국 반도체 장비업체 나우라(北方华创,베이팡화창)의 실적이 올해 1~5월 크게 개선됐는데, 대부분의 설비가 SMSC로 반입됐다고 부연했다. 나우라는 각종 증착장비와 식각장비를 공급하는, 중국 최대 반도체 장비 회사다. 

SMIC 2022년 연차보고서에 따르면 SMSC에 대한 SMIC의 지분율은 38.52%다. SMIC는 여러 펀드들 지분을 참여시켜 지난 2016년 12월 SMSC를 설립했다. 

중국 국가IC펀드도 2020년 100위안(약 1조8000억원)을 투자해 37.64% 지분을 보유하고 있다. 상하이IC산업펀드도 23.85% 지분을 보유 중이다. 

한편 핀펫 공정은 지난해 삼성전자가 양산을 시작한 GAA(게이트올어라운드) 공정이 출현하기 전까지 가장 최신의 로직칩을 제조하는데 쓰이는 기술이다. TSMC는 핀펫 구조를 통해 3nm 공정까지 제공한다. 삼성전자는 4nm 공정까지를 핀펫으로 제공했고, 3nm부터는 GAA로 전환했다.