특수가스 전문 업체 페릭스페셜티가스(中船特气, Peric Specialty Gas)는 일본 리소그래피(노광)용 광원 전문 업체 기가포톤(Gigaphoton)의 제품 공급 적격 인증을 받았다고 5일 밝혔다. 인증서는 오는 2023년 7월까지 유효하다.

이번에 인증을 받은 제품은 리소그래피용 Kr/Ne(크립톤, 네온), Ar/Ne/Xe(아르곤, 네온, 제논) 가스다. 페릭측은 순도, 안정성 등 핵심 성능 지표에서 글로벌 규격을 만족시킨 것이라고 설명했다.

기가포톤은 리소그래피용 광원(엑시머 레이저) 전문 업체로, DUV(심자외선) 및 EUV(극자외선) 광원을 개발, 제조한다. ArF(불화아르곤) 이머전 및 ArF 드라이 레이저, KrF(불화크립톤) 레이저 등이 주력 제품이다. 일본을 비롯한 아시아 대부분 반도체 제조 기업에 제품을 공급하고 있다.  

페릭은 지난 2016년에 설립됐고, 본사는 허베이성 한단시에 위치해 있다. 전자 제조용 육불화텅스텐(WF6), Kr/Ne 및 Ar/Ne/Xe 혼합가스, 삼불화질소(NF3) 등 특수가스, 트리플루오로메탄설폰산(트리플산) 계열 제품을 주력으로 생산한다. 

CSSC(중국선박그룹) 자회사다. 2023년 상하이 증권거래소 과학창조판에 상장했다. 지난해 매출액은 19억2900만위안(약 2376억원)이다.