10나노급 6세대 개발 TF는 COO로 이전
7세대는 내년 말 양산 시도 전망
SK하이닉스가 10나노급 7세대급 D램(D1d) 펫네임을 ‘프로키온(Procyon)’으로 정하고 개발 작업에 속도를 내고 있다. 프로키온은 올해 양산 체제로 전환되는 10나노급 6세대(D1c)를 잇는 차세대 D램으로 내년 말쯤 양산에 돌입할 것으로 예상된다.
장태수 부사장, 프로키온 TF 담당
통상 신규 세대 D램 개발 TF는 3년 주기로 명멸한다. 프로키온 TF는 지난해 결성된 것으로 알려졌으며, 올해로 2년차다. TF 리더는 올해 신규 임원으로 선임된 장태수 부사장이 맡게 됐다. 지난해까지 프로키온 TF는 10나노급 6세대 제품을 개발하는 ‘스피카(Spica)’ TF와 함께 미래기술연구원(CTO) 산하로 나란히 소속돼 있었다.
그러나 올해 스피카 TF가 양산 전환 작업을 진행하면서 개발총괄(COO) 산하로 옮겼다. 모든 차세대 제품 개발을 담당하는 미래기술연구원 산하에 현 시점 프로키온 TF 보다 더 진전된 D램 제품을 개발하는 조직은 아직 없다.
한 반도체 산업 전문가는 “올해 스피카가 성공적으로 양산 된다면 프로키온 TF는 내년에 COO 조직으로 옮겨와 양산을 준비하게 되는 수순”이라며 “스케줄상으로 내년 연말쯤 프로키온을 양산하게 될 것으로 예상된다”고 말했다.
SK하이닉스가 10나노급 4세대 D램(D1a)부터 EUV(극자외선) 노광 공정수를 점차 늘려온 만큼 프로키온에는 이전 대비 가장 많은 레이어에 EUV 노광 기술이 적용될 전망이다. SK하이닉스는 10나노급 4세대에 1개, 5세대(D1b)에 3개의 EUV 레이어를 적용했으며, 올해 양산되는 6세대에는 5개~6개 레이어에 EUV 공정이 도입된다.
또 다른 반도체 산업 전문가는 “EUV 기술이 적용되는 레이어 중 1개 정도는 EUV 장비 운용 전략에 따라 ArF(불화아르곤) 이머전 기술로 대체되기도 해 유동적”이라며 “프로키온에는 6~7개 레이어에 EUV가 사용될 것”으로 전망했다.
한편 SK하이닉스의 D램 세대별 펫네임은 회사 내부에서 개발자들끼리의 편의를 위해 만들어 부르는 이름이다. 외부로 판매될 때 공표되지는 않는다.
최근들어 별자리 이름을 따서 붙이는 게 일반적인데 처음 EUV 기술이 적용된 10나노급 4세대는 ‘캐노퍼스’, 5세대는 ‘루시’였다. 캐노퍼스는 용골자리에서 가장 밝은 별, 루시는 센타우루스자리의 변광 백색왜성이다.
스피카는 처녀자리에서 가장 밝은 별(알파성)의 이름에서 따왔고, 프로키온은 작은개자리의 알파성의 이름이다.

