일본 산업용 가스 제조업체 칸토덴카공업의 삼불화질소(NF₃) 공장에서 발생한 화재로 반도체 공급망 차질에 대한 우려가 커지고 있다고 블룸버그와 닛칸공업신문 등 외신들이 최근 보도했다.

이 회사는 현재 TSMC, 삼성전자, 마이크론, 일본의 키옥시아, 소니, 래피더스 등 주요 반도체 업체들에 제품을 공급하고 있으며, 이로 인해 광범위한 영향이 예상된다는 관측이다. 외신들은 반도체 장비 세정 및 에칭 공정에 사용되는 가스인 NF₃의 대체 공급원을 확보하기 위해 애를 먹고 있다고 보도했다. 동시에 일본 경제산업성은 한국으로부터 가스 수입을 확대해 공급난을 해소할 계획도 갖고 있는 것으로 전해졌다. 

앞서 블룸버그는 지난 7일 일본 군마현 시부카와시에 있는 칸토덴카의  NF₃ 공장에서 화재가 발생해 근로자 1명이 사망했다고 보도했다. 이 사고로 공장의 두 생산 라인 중 하나가 손상돼 당국이 가동을 중단했다고 덧붙였다.

업계에서는 칸토덴카의 손상된 시설을 복구하고 출하를 재개하는 데는 수개월이 걸릴 수 있으며, 이는 NF₃로 만들어지고 칩의 금속 배선 형성에 필수적인 육불화텅스텐(WF₆)에 대한 공급 우려를 증폭시킬 수 있다는 관측이 나온다. 

블룸버그에 따르면 칸토덴카는 일본 NF₃의 90%를 생산한다. 미쓰이화학이 비용 상승과 치열한 가격 경쟁으로 2026년 3월까지 생산을 중단할 예정이어서 칸토덴카는 유일한 주요 공급업체가 될 상황이었다. 

이번 화재 사고는 칸토덴카의 고객사들이 글로벌 반도체 대기업을 아우르고 있다는 점에서 관심이다. 특히 일본 래피더스는 NF₃를 칸토덴카에 전적으로 의존하는 것으로 알려져 우려가 크다고 닛칸공업신문은 전했다. 래피더스는 향후 시제품 제작과 양산에 차질이 없도록 대체 공급원을 확보하기 위해 서두르고 있다고 보도하기도 했다.