전력 반도체 양산

중국 최대 파운드리 기업인 SMIC가 사오싱(绍兴)에 건설한 8인치 공장의 양산 능력이 크게 성장했다고 밝혔다. 

7일 중국 언론 IT즈자에 따르면 SMIC가 저장(浙江)성 사오싱에 소재한 공장 설비 조율 작업을 완료하고 양산 체제에 돌입해 8인치 공장의 생산능력을 7만장까지 늘렸다. 수율은 99%에 도달했다. 

최근 8인치와 12인치 웨이퍼 응용 범위가 늘어나고 있는 가운데, SMIC의 사오싱 공장이 8인치 공정을 양산하면서 스마트카, 스마트홈 영역의 칩 제조에 쓰일 수 있을 것으로 기대하고 있다. 

SMIC의 사오싱 공장은 SMIC, 상오싱시정부, 성양(盛洋)그룹이 공동으로 출자해 설립됐다. 지난 2018년 5월 18일 8인치 공장 건설 프로젝트 착수 행사가 열렸으며, 마이크로기계전기 및 파워 부품 산업화를 본격 추진해왔다. 지난해 1월 생산을 시작해 생산량을 늘려왔다.

 

SMIC의 사오싱 공장 전경. /IT즈자 제공

 

사오싱 공장은 MEMS 플랫폼, MOSFET 공정 플랫폼, 필드스탑(Field Stop) IGBT 생산 공정 플랫폼으로 나뉘어 있다. MEMS 플랫폼은 MEMS 마이크로폰, 압력 센서, 초음파 센서, 발진기, 가속도계, 자이로스코프 등을 생산하며, MOSFET 공정 플랫폼은  트렌치형 MOSFET, 그리드형 MOSFET, 그리고 슈퍼정션(Superjunction) MOSFET이 있다. 

지난해는 사오싱의 반도체 산업에서 중요한 전환점이 있었던 해로 최근 1여 년간 반도체 설계, 제조, 패키징, 테스트, 장비와 애플리케이션 공급망이 빠르게 형성되고 있다. 2020년 반도체 총 생산액이 300억 위안(약 5조 3076억 원)을 넘어서면서 사오싱의 도시 종합 경제의 29번째 중요한 동력이 됐다. 
 

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