중국 장비 기업이 SMIC에 검사 장비를 공급했다고 밝혔다. 

중국 언론 지웨이왕에 따르면 중국 징처일렉트로닉(Zingce Electronic)이 리서치 기관 조사에서 '13일 장비 출시 이후 상황'을 묻는 질문에 대해 "이번에 출시한 두 상품은 OCD(Optical Critical Dimension)와 리뷰 SEM(Review-SEM)으로 고객사는 SMIC"라고 밝혔다. 

OCD 장비는 전자동광학 막 두께 측정 기능 이외에 ADI(After Develop Inspection), AEI(After Etch Inspection) 등 다중 공정의 2차원 및 3차원 제품 제폭, SWA(Side Wall Angle), 고도 및 심도 등 핵심 CD(Critical Dimention) 특징 혹은 전체 형상 측량이 가능하다. 고속, 정확, 비파괴 등 특징을 가진 반도체 검측 장비라고 회사는 설명했다. 리뷰 SEM은 광학적 결함 검사 장비의 결과에 대한 고해상도 재검, 분석, 분류를 수행할 수 있는 첨단 자동웨이퍼 온라인 전자 빔 결함 재검 및 분류 장비다. 

징처일렉트로닉은 주로 반도체 전방 검측 장비 영역의 제품 연구개발과 생산을 하고 있다. 이미 막 두께, OCD 측량 설비 및 전자빔 측량 장비 등 반도체 장비 시리즈에서 성과를 내고 있다. 

특히 중국 선두급 기업의 대량 재주문을 받은 상태로 OCD, 츨량 설비는 이미 납품했고 반도체 전자빔 검측 장비 'eView' 전자동 웨이퍼 결함 재검 장비를 이미 중국 기업에 납품했다. 

징처일렉트로닉은 12인치 OCD의 경우 중국에서 동종 유형의 첫 제품으로, 주로 45nm 이하 특히 27nm 이하 평면 CMOS 공정 측정에 사용되며 이들 고급 공정 노드의 빠른 선폭 측정을 지원한다고 설명했다.