반도체 영역 최대 금액 출자
중국 화웨이가 포토레지스트 원재료 기업에 투자했다.
10일 중국 언론 지웨이왕에 따르면 쉬저우(徐州) B&C케미칼(B&C Chemical)이 경영 정보를 변동하고 새로운 주주로 화웨이 산하 허블테크놀로지인베스트먼트(Hubble Technology Investment)를 추가했다.
허블테크놀로지인베스트먼트는 3억 위안(약 538억 원)을 투자해 10%의 지분을 갖게되며, 이는 허블테크놀로지인베스트먼트 창립 이래 반도체 영역에서 이뤄진 최대 규모의 투자다.
B&C케미칼은 장쑤(江苏)성 피저우(邳州)경제개발구에 위치한 하이엔드 포토레지스트, 포토레지스트 단량체, 포토레지스트 수지 등을 연구개발, 생산, 판매하는 회사다. 중국 언론에 따르면 B&C케미칼은 최근까지 중국 본토에서 유일하게 중급 및 고급 포토레지스트 단량체 재료를 생산할 수 있는 제조사다.
B&C케미칼은 주로 포토레지스트 원재료에서 완성품 연구개발, 생산을 하며 단량체, 전용 수지, 광산제와 포토레지스트의 국산화를 위한 회사라고 볼 수 있다. 이미 5000㎡ 규모의 연구개발 센터를 보유하고 있으며 쑹장(松江) 차오허징(漕河泾) 과학기술오아시스(科技绿洲)에 200여 명의 연구진이 있다. 박사급과 석사급 인재 비중이 50%를 넘는다. KrF 니콘(Nikon) S204, I9, I12, ACT 8track、니덱(Nidec)의 CDSEM 등 장비도 갖고 있다.
이 회사의 제품은 193nm/248nm 포토레지스트 단량체, 193nm/248nm 포토레지스트, G라인/i라인 포토레지스트, 전자빔포토레지스트 등 다양한 시리즈가 있다. 최근 이미 40여 종의 중급 및 하이엔드 포토레지스트 시리즈를 개발했으며 다중전자빔 레지스트, ArF 건식 포토레지스트, KrF 플러스형 포토레지스트, i라인 플러스형 포토레지스트, GHI 슈퍼 식(thick) 마이너스 레지스트 등을 반도체 제조 등에 적용하고 있다. 서비스 고객 기업이 100개를 넘는다.

