中 징루이, SK하이닉스서 ASML 장비 입고
中 징루이, SK하이닉스서 ASML 장비 입고
  • 유효정 기자
  • 승인 2021.01.20 14:21
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ArF 포토레지스트 개발에 적용
중국 전자 재료 및 부품 생산 기업 징루이(Jingrui)가 대리업체를 통해 한국 SK하이닉스로부터 한 대의 ASML 리소그래피 중고 장비를 구매, 입고했다. 징루이는 앞서 지난해 9월 공시를 통해 장비 구매 사실을 알렸으며 구매 가격은 1102만5000달러(약 121억1647만 원)다. 이어 지난 19일 공시를 통해 여러 협력업체를 거쳐 'ASML XT 1900 Gi' 리소그래피 장비를 순조롭게 반입했다고 밝혔다. 이 장비는 19일 이 회사의 쑤저우(苏州) 포토레지스트 연구개발 실험실에 자리잡았다. 19일 중국 언론
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