반도체 검사장비 업체 넥스틴이 중국 D램 생산업체 푸젠진화반도체(JHICC)로부터 ‘다크필드’ 검사장비를 추가 수주했다. 지난해 4월 파일럿 장비를 수주한 이후 첫 번째 양산 물량을 공급하게 됐다.

넥스틴, KLA 독점 ‘다크필드’ 검사 시장 잠식

넥스틴은 JHICC가 이달 진행한 다크필드 검사장비 수주전에서 최종 공급사로 선정됐다. 이번에 넥스틴이 공급할 물량은 2대다. 넥스틴은 JHICC가 지난해 발주한 다크필드 검사장비 1대도 수주한 바 있다. 지금까지 JHICC에서만 총 3대의 수주고를 기록하고 있다.

넥스틴의 다크필드 검사장비는 1대당 가격이 400만~500만달러(45억~55억원) 정도다. 따라서 이번에 수주한 금액은 100억원 안팎일 것으로 예상된다. 출하는 3분기 중 이뤄진다. 

운용하는 방식에 따라 다르지만 300㎜ 웨이퍼 투입량 월 3만장 기준으로 다크필드 검사장비 4대가 필요하다. 넥스틴 관계자는 “JHICC가 1~2대의 장비를 추가로 발주할 것으로 예상된다”고 말했다. 

넥스틴은 앞서 지난해 중국 YMTC로부터도 다크필드 검사장비 4대를 수주했다. YMTC는 중국 내 대표적인 낸드플래시 제조업체다. 지난해 총 128단 QLC(쿼드러플레벨셀) 개발을 완료했다고 발표했다. 아직 개발 대비 양산 이력은 미미한 편이나 중국에서 메모리 반도체 제조 관련 투자가 가장 공격적인 회사다.

다크필드 검사장비는 웨이퍼 표면의 결함을 걸러내는 역할이다. 나노미터(nm) 사이즈까지 검사할 수 있는 다크필드는 미국 KLA가 독점력을 행사했으나, 지난해 넥스틴이 본격 진입하면서 이원화됐다(KIPOST 2020년 7월 17일자 <하반기 소⋅부⋅장 IPO 3선> 참조). 

그동안 KLA 독점이 워낙 오랫동안 유지되어온 탓에 반도체 업체들이 대안 업체 등장을 갈구해왔다. KLA가 공급하는 다크필드 장비는 1대당 가격이 800만~900만달러에 이른다.

이처럼 가격 경쟁력이 높다 보니 중국 업체들은 물론 국내서 SK하이닉스⋅삼성전자⋅나노종합기술원으로부터도 장비 발주가 이어지고 있다. SK하이닉스의 경우, 극자외선(EUV) 공정이 구비된 경기도 이천 M16에도 넥스틴의 다크필드 검사장비가 공급됐다. 

넥스틴은 지난해 매출 494억원을 기록했으며, 올해 600억원 안팎의 매출을 기록할 것으로 예상된다. 넥스틴 관계자는 “아직 반도체 업체들의 하반기 발주 물량이 완전히 확정되지는 않았기 때문에 다소 보수적으로 매출 전망을 유지하고 있다”고 말했다.