반도체 웨이퍼용 검사장비 업체 넥스틴이 중국 고객사향 장비 공급을 늘리고 있다. 이 회사가 공급하는 웨이퍼 표면결함 검사장비(다크필드)는 그동안 미국 업체가 사실상 독점해 온 품목이다. 

반도체 업체들이 복수 공급사에 대한 요구가 높았던 만큼 향후 국내외 고객사들로 공급량을 늘릴 수 있을 전망이다. 

미국 상무부가 중국 JHICC를 수출금지 대상에 올림에 따라 미국 반도체 장비사들이 현장에서 철수하고 있다. 사진은 반도체 공장에서 생산된 웨이퍼(기사의 특정 내용과 관련 없음). /보쉬 제공
반도체 공장에서 생산된 웨이퍼(기사의 특정 내용과 관련 없음). /사진=보쉬 

중국 시장 공략하는 넥스틴

 

넥스틴은 최근 중국 양쯔메모리테크놀러지(YMTC)에 2대의 다크필드 장비를 추가 공급했다. 당초 1⋅2분기에 1대씩, 총 2대를 공급했고 하반기들어 2대를 추가 공급해 현재 셋업을 진행하고 있다. 넥스틴은 푸젠진화반도체(JHICC)와도 내년에 5대의 다크필드 장비를 공급하는 방안을 논의하고 있다. 넥스틴은 이미 올해 초 JHICC로부터 1대의 다크필드 장비를 수주한 바 있다.

웨이퍼 투입량 월 3만장 정도를 검사하는데 다크필드 장비 4대 가량이 필요하다. 중국 업체들은 우선 1대를 도입해 평가한 후 나머지 물량을 발주한 것으로 보인다. 

다크필드는 웨이퍼 표면 패턴의 불량 유무를 빠르게 검사하는 장비다. 그동안 세계 시장을 미국 KLA와 일본 히타치가 과점했다. 그러나 나노미터(nm) 단위까지 검사 가능한 장비는 KLA가 독점 공급한다. 넥스틴이 국내외 반도체 양산 라인에 nm급 검사가 가능한 다크필드를 공급하며 독점 구조가 깨지는 중이다. 

YMTC는 현재 우한공장에 웨이퍼 투입량 월 10만장 규모의 3D 낸드플래시 공장을 구축하고 있다. 따라서 이미 공급된 4대 외에도 추가 장비 공급도 가능하다. JHICC의 경우, 미국 상무부 제재 탓에 미국 장비 업체와의 거래가 막혀 있다. nm급 다크필드를 도입하려면 넥스틴 외에 대안이 없다.

SK하이닉스 관계자는 “그동안 웨이퍼 표면결함 검사장비는 가격 협상이 거의 불가능한 품목 중의 하나였다”며 “국내 장비사 진입으로 향후 양산 투자시 선택의 폭이 넓어질 것”으로 기대했다.

전 세계 검사장비 시장 전망. /자료=테크나비오
전 세계 검사장비 시장 전망. /자료=테크나비오

통상 다크필드 장비 1대 가격은 KLA 기준 900만달러 안팎으로 추정된다. 넥스틴이 중국 시장에 수출하는 가격은 500만달러 정도인 것으로 알려졌다.

다크필드를 포함한 검사장비 시장은 반도체 공정 미세화 발전에 따라 수요가 점차 늘고 있다. 노광부터 식각에 이르는 반도체 8대 공정 전후로 반드시 검사 공정이 따라붙는 추세다. 시장조사업체 테크나비오에 따르면 전체 검사장비 시장 규모는 올해 34억달러(약 3조6800억원) 안팎으로 추정된다. 오는 2023년 45억달러 규모까지 성장할 전망이다.  

최준영 한화투자증권 연구원은 “미⋅중 무역갈등에 따라 중국 시장 내 미국 장비사 점유율은 점차 낮아질 전망”이라며 “국내서는 국산화 트렌드로 인해 히타치 점유율이 내려갈 것으로 예상돼 넥스틴에 기회가 되고 있다”고 설명했다.

 

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