넥스틴이 중국 최대 파운드리(반도체 위탁생산) 업체 SMIC에 대규모 다크필드 검사장비를 공급한다. 다크필드 장비는 원래 미국 KLA의 독점 품목이었으나, 넥스틴이 지난 2016년 국산화에 성공한 뒤 국내외 공급량을 늘리고 있다.

반도체 검사장비업체 넥스틴은 SMIC와 113억원 규모의 공급계약을 체결했다고 30일 공시했다. 계약금액은 지난해 매출 494억원의 23% 수준으로, 계약기간은 오는 7월 15일까지다.

넥스틴은 공급품목을 구체적으로 밝히지는 않았지만, 이 회사의 주력 제품인 다크필드 검사장비 ‘이지스’일 것으로 추정된다. 이지스의 한 대당 공급가격이 300만달러 정도라는 점을 감안하면 이번 계약분은 이지스 3대 규모인 셈이다. 

넥스틴과 SMIC의 거래는 이번이 처음은 아니다. 지난해 이 회사는 중국 베이징이타운테크와 60억원 규모의 공급계약을 체결한 바 있다. 베이징이타운테크는 현지 중개상으로, 당시 실제 장비는 SMIC의 반도체 생산 라인으로 공급됐다. 지난해 계약분은 이지스 2대였다. 

SMIC와의 거래는 이 회사가 중국 내 최대 파운드리 업체라는 점에서 의미가 크다. 넥스틴은 그동안 중국 내 D램 업체인 JHICC(푸젠진화반도체)와 낸드플래시 회사 YMTC(양쯔메모리) 등 메모리 업체를 중심으로 공급 사례를 늘려왔다. 이번에 SMIC와의 직거래는 처음 튼 만큼 SMIC 이외 중화권 파운드리들과의 거래가 늘어날 여지가 크다. 

넥스틴 관계자는 “SMIC는 이번 계약분 외에도 추가 공급 계약을 추진하고 있다”며 “SMIC 외에도 다른 중화권 반도체 업체들과도 활발하게 장비 공급을 논의하고 있다”고 말했다.

최근 넥스틴이 가장 역점을 두고 추진하는 것은 3D 웨이퍼 패턴검사 장비 ‘아이리스’의 양산 공급이다. 아이리스는 3D 낸드플래시 내부의 결함 여부와 위치를 파악해주는 장비로, 이 회사가 처음 개발한 것이다. 이지스가 기존 KLA 다크필드를 국산화한 것이라면, 아이리스는 장비 컨셉트부터 기술까지 업계서 처음 시도되는 것이다. 

수십층의 셀(메모리 최소 단위)이 켜켜이 쌓여 있는 3D 낸드플래시는 내부에 숨어 있는 결함을 잡아내는 게 매우 어렵다. 넥스틴은 파장이 긴 근적외선(NIR) 광원에 TSOM(Through-focus scanning optical microscopy) 기술을 가미해 아이리스를 개발했다. TSOM은 특정 물체를 다양한 초점 위치로 이동하며 촬영한 영상을 합성해 3D 이미지를 만들어내는 기법을 뜻한다. 

마치 의료 분야에서 쓰이는 CT스캔(컴퓨터단층촬영) 처럼 특정 부위를 다양한 위치와 각도에서 투사한 뒤, 합성 이미지를 만들어 내는 것이다. 넥스틴은 지난해부터 인텔과 아이리스 장비 공급을 논의하고 있다.