국내 중소기업이 기술 장벽이 높은 반도체 전공정용 검사 장비 시장에 성공적으로 안착했다. 국내 소자 업체에 납품한 데 이어 곧 해외 시장에도 진출한다.

▲넥스틴이 웨이퍼 패턴 결함 검사 장비 ‘AEGIS 시스템’을 메모리 업체에 이어 파운드리 업체에도 납품했다./넥스틴

넥스틴(대표 박태훈)은 최근 매그나칩반도체에 웨이퍼 패턴 결함 검사 장비 ‘AEGIS 시스템’을 공급했다고 20일 밝혔다.

계측(Metrology)·검사(Inspection) 장비는 반도체 전공정의 핵심 장비다. 이전까지는 노광 등 핵심 공정이나 전체 생산라인이 끝난 뒤에만 장비가 있었지만, 생산 단계가 복잡해지면서 각 공정 사이사이 도입되고 있다.

계측 장비는 회로 선폭이나 구멍(hole)의 직경, 박막 두께, 오버레이(overlay) 등 주로 크기·길이·부피를 측정하고, 검사 장비는 웨이퍼 위에 결함이나 먼지(particle) 같은 불량이 있는지를 알아낸다.

수 나노(㎚) 두께의 회로가 빼곡히 그려진 웨이퍼를 빠르고 꼼꼼하게 살펴보기란 쉽지 않다. 때문에 계측·검사 장비 시장은 KLA텐코나 어플라이드머티어리얼즈, 히타치하이테크 등 3개사가 전체 75% 이상을 과점하고 있다.

넥스틴의 ‘AEGIS 시스템’은 패턴 결함 검출력은 물론, 검사 조건의 최적화 속도가 빨라 수백 종류의 반도체를 동시에 생산하는 반도체 외주생산(Foundry) 업체에 적합하다. 매그나칩반도체에서 성능을 평가한 결과 두 항목 모두 경쟁사보다 월등히 앞섰다고 회사는 설명했다.

넥스틴은 지난 2014년 독일 프라운호퍼(Fraunhofer) IPMS 연구소와 함께 연구개발(R&D)을 진행하면서 검사 장비를 개발, 논리(Logic) 소자 제조 공정에서 성능을 인증 받았다.

지난 2016년에는 산업통상자원부의 ‘반도체 장비 재료 성능 평가 사업’을 통해 국내 메모리 반도체 업체의 인증도 통과, 양산라인에 공급했다.

박태훈 넥스틴 대표는 “이 장비는 메모리, 로직, 파운드리 등 모든 종류의 반도체 제조 공정에서 성능 인증을 받았다”며 “해외 반도체 업체들과 납품 협의를 진행하고 있어 조만간 본격적인 수출 증대가 이뤄질 것”이라고 말했다.