BOE가 8.6세대(2290㎜ X 2620㎜) IT용 OLED 라인 구축을 위한 주요 장비 입찰을 온라인에 게재했다. 전례상 협력사와의 스펙 평가 및 단가협상이 마무리 된 뒤 온라인 입찰이 진행됐다는 점에서 PO(구매발주)가 임박했음을 유추할 수 있다. 

BOE, 사흘간 7건 입찰 게재

BOE는 이달 1~3일에 걸쳐 ▲증착장비(Evaporation) ▲ELA(엑시머레이저어닐링) ▲이온임플란터 등 총 7건 입찰을 온라인에 게재했다. 이번에 입찰에 나온 장비들은 대체로 납기가 1년 안팎에 이르는 장납기 품목들이다. 이전 6세대(1500㎜ X 1850㎜) 투자 국면에서도 가장 먼저 입찰에 나왔다.

다만 중국 디스플레이 업계에서 온라인 입찰은 형식상의 절차다. 우리나라 조달청 전자입찰처럼 발주처와 공급사가 완전히 격리된 채 프로세스가 진행되지는 않는다. 입찰에 나오기 전 양측이 만나 장비에 대한 평가와 단가협상 윤곽을 잡은 상태에서 개시된다. 따라서 온라인 입찰은 장비 수주의 첫 단계라기 보다 마지막 단계라고 보는 게 맞다.

통상 한달여 사이에 ▲신규입찰(New Tender) ▲평가결과 공개(Evaluation Results) ▲수주(Tender Awards) 단계까지 나아간다. 국내 전자공시시스템에 수주 사실을 공시하는 시점은 그로부터 한달여 뒤다. 이르면 5~6월 정도에는 국내 디스플레이 장비 업체들 수주 사실이 공개된다는 의미다.

이번에 온라인 입찰에 나온 증착장비는 유리기판에 적색⋅녹색⋅청색 발광층과 공통층 박막을 형성하기 위해 사용하는 설비다. OLED 생산 라인에서 가장 큰 부분을 차지하며, BOE는 선익시스템과 일본 캐논도키 가운데 선익시스템을 공급사로 낙점한 상태다(KIPOST 2024년 3월 14일자 <BOE, 8.6세대 증착장비 공급사로 선익시스템 선정...아바코도 참여> 참조).

BOE는 증착장비 입찰 문서에서 2290㎜ X 1310㎜ 유리기판에 적용 가능하고, 허용오차는 각각 0.2㎜, 두께는 0.4~0.7㎜씩이라고 밝히고 있다. 8세대급 OLED 표준으로 확립된 수평형 증착은 TFT(박막트랜지스터) 생산 이후 기판을 절반으로 잘라 공정을 진행한다. 따라서 긴 변(2620㎜)의 길이가 절반(1310㎜)으로 줄어든 것이다.

ELA는 TFT 공정에서 a-Si(비정질실리콘)을 LTPS(저온폴리실리콘)로 업그레이드하는데 쓰이는 설비다. BOE는 8.6세대 TFT를 LTPS와 옥사이드를 하이브리드한 LTPO(저온폴리실리콘옥사이드) 타입을 선택했기에 ELA가 필수다. BOE는 지난 6세대 투자시 AP시스템으로부터 ELA를 100% 도입해왔다. 다만 지난달 27일 기공식에는 AP시스템과 함께 일본 JSW(재팬스틸웍스) 관계자 역시 초청됐다는 점에서 귀추가 주목된다.

이온임플란터는 TFT가 전기적 특성을 갖게 하기 위해 전기장으로 가속한 불순물을 표면에 주입하는 설비다. 6세대부터 일본 니신이온이 관련 시장을 독점해왔다는 점에서 8.6세대 역시 이 회사가 공급하게 될 가능성이 높다.

이번에 같이 입찰에 나온 TMP(Turbomolecular Pump, 터보분자펌프)는 대표적인 고진공 기계식 펌프다. OLED 생산에 사용하는 설비들의 진공을 구현하는데 쓰인다. 영국 에드워드가 TMP 주요 공급사다.