중국 BOE가 베이징에 새로 짓기로 한 신규 6세대(1500㎜ X 1850㎜) LCD 생산라인(B20)용 장비를 발주하고 있다. B20은 이미 중국에서도 사양 기술로 접어든 LTPS LCD 기술을 기반으로 한다는 점에서 실제 투자가 집행될 지 불투명했으나, 일단 장비 발주 작업은 예정대로 진행되고 있다(KIPOST 2022년 11월 30일자 <LTPS LCD 라인 짓겠다는 BOE에 장비업계는 갸우뚱> 참조). 

BOE 추앙위안, 발주 작업 시작

BOE의 자회사 BOE 추앙위안(Chuangyuan)은 지난달을 기해 B20용 장비 입찰을 시작했다. 아직 입찰에 공개된 품목은 단 2개로 많지 않다. 진공펌프와 RTA(Rapid Thermal Annealing)에 대한 입찰이 나왔고, 진공펌프 공급사는 7일 영국 에드워드로 정해졌다. RTA 공급사도 곧 결정될 것으로 보이며, BOE는 그동안 국내 장비사인 비아트론 RTA를 주로 이용해왔다.

진공펌프는 반도체⋅디스플레이 산업 전반적으로 사용되는 공통 설비다. RTA는 디스플레이 LTPS(저온폴리실리콘) 공정에서 결정화⋅활성화⋅선수축⋅탈수소화를 위해 쓰이는 열처리 장비다. LCD⋅OLED, 기판 타입으로 LTPS⋅ LTPO(저온폴리실리콘옥사이드)에 상관없이 공통적으로 쓰인다. 따라서 현재까지 입찰로 나온 장비 목록 만으로 BOE의 이후 투자 방향성을 가늠하기는 어렵다. 

당초 BOE는 TFT(박막트랜지스터) 타입을 LTPS와 더불어 LTPO까지 확장한다는 계획을 내놨지만, 장비 업계는 LTPS에 그칠 것으로 예상한다. OLED를 LTPS가 아닌 LTPO 기판으로 만들었을 때의 메리트가 분명하지 않아서다. 

BOE B20은 올해 초 인프라 공사를 시작한 것으로 전해졌다. 원래 연말쯤 장비 발주가 시작될 것으로 예상됐으나, 실제로는 다소 빠르게 일정이 진행되고 있는 것이다. 반입 시기는 내년 3분기, 램프업은 오는 2025년 2분기다. 

아래는 BOE 추앙위안이 발주낸 진공펌프 낙찰 내역이다.