ICP 에칭 장비 개발도 진행

중국 장비 기업이 미니 LED 양산 주요 장비 공급이 순항하고 있다고 밝혔다. 

중국 언론 LED인사이드에 따르면 중국 장비 기업 AMEC이 고성능 미니 LED 양산에 쓰이는 유기화학기상증착장비(MOCVD) 장비 '프리스모 유니맥스(Prismo UniMax)'를 고객에 공급하는 프로젝트를 진행하고 있다. 

AMEC에 따르면 MOCVD 장비는 대량 생산을 위해 설계됐으며 업계 선두의 가공 용량을 보유했다. 흑연 디스크 웨이퍼의 배열을 최적화해 처리 용량을 확장하고 164개의 4인치 또는 72개의 6인치 웨이퍼를 성장시킬 수 있다. 

AMEC은 최근 주문이 풀상태로, 자원 배치를 최적화해 생산능력을 높이고 수요에 대응하겠다고 밝혔다. 

 

AMEC의 Prismo UniMax 장비. /AMEC 제공

 

원재료 구매와 공급 상황에 관해서는, 소량의 부품 납기가 이전대비 다소 늦어지고 있다고 설명했다 회사는 협력업체 평가 관리 시스템을 통해 주요 부품 공급업체 수량을 비교적 많이 가져가면서 좋은 협력관계를 유지하고 있다고도 전했다. 단일한 공급업체 구매 금액 비중이 그리 크지 않으며, 핵심 부품의 구매선을 글로벌 각지로 다양화하는 전략을 취하고 있단 거다. 

이외 ICP(inductively coupled plasma) 에칭 제품의 경우, 회사의 유도 플라즈마 에칭 장비가 다중 로직 칩 및 메모리 칩 제조 업체 생산라인에서 양산에 적용되고 있다고 전했다. 지난해 말까지 회사의 ICP 설비 프리모나노바(PrimoNanova) 장비가 이미 55개의 반응 스테이션을 고객사에서 가동중이며 지난 6월엔 100번째 반응 챔버를 성공적으로 납품하는 등 고객사 검증 건수도 늘어나고 있다. 

이어 고객의 수요에 대응해 6nm 이하 로직 칩, 1Xnm D램 칩, 128단 이상의 3D 낸드 칩 등 상품의 ICP 에칭 수요에 대응하는 등 ICP 에칭 장비 연구개발을 강화할 계획이다. 

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