증강현실(AR)과 가상현실(VR) 기기에 사용될 수 있는 마이크로 OLED 생산라인에 중국산 실리콘 기반 OLED 증착장비가 첫 적용됐다. 

중국 장비 기업 시네바(SINEVA)가 첫 실리콘 기반 OLED 증착장비를 타이저우(台州) 씨제스(SEEGES)의 양산 라인에 적용했다고 밝혔다. 씨제스는 고밀도 근안 디스플레이(Near eye display) 마이크로 OLED 기업이다. 중국 디스플레이 업계에선 핵심 공정 장비의 자립이 시작된 것 아니냔 분석도 나왔다. 

씨제스는 컬러필름없이 자발광하는 네이티브 RGB OLED 기술을 채용하고 있으며 고화소밀도, 고휘도, 고명암비와 저전력 등 특징의 근안 디스플레이를 만든다. 

시네바는 중국 OLED 장비 기업 중 하나로서 실리콘 기반 OLED 증착장비를 개발했으며, 이는 중국에서 처음으로 자체 개발한 실리콘 기반 OLED 증착장비다. 회사는 장기간의 기술 축적을 통해 난제 기술을 해결했으며, G1(증착기판 크기 200×200mm), G2.5(증착기판 크기 370×470mm), OLED 증착장비 및 G6 H(증착기판 크기 925×1500mm) 증착장비 개발을 했다. 이를 통해 중국 반도체와 디스플레이 핵심 공정 장비 개발의 중요한 성과를 냈다는 평가다. 

시네바는 OLED 증착장비 연구개발 노하우를 통해 OLED 증착장비 증착 소스 설계 및 관련 기술 개발도 진행해 막 두께의 균일성과 안정성, 고밀도 위치인식 기술 등 문제를 해결한 것으로 전해졌다. 동시에 모종의 특수 증착 재료를 통해 특수 증착소스와 맞춤형 증착 공정으로 장기적인 증착 안정성을 꾀했다. 

이 회사는 3만 ㎡ 규모의 증착장비 연구개발 및 생산 클린룸을 보유하고 있으며, 각 연구개발 장비와 검측기 20여 대와 고급 인재를 갖추고 연구개발을 하고 있다.