중국 금속유기화학증착(MOCVD) 장비 기업이 미니 LED 기업에 장비를 공급한다. 

29일 아멕(AMEC)은 100% 자회사인 난창(南昌) AMEC 지사가 LED 기업인 장시(江西) SMTC(ZHAOCHI SEMICONDUCTOR)의 52캐비티 프리즈모 유니맥스(Prismo Unimax®) MOCVD 장비 구매 주문을 받았다고 밝혔다. 

프리즈모 유니맥스는 아멕이 지난해 6월 발표한 고성능 미니LED 양산용 MOCVD 장비다. 이 장비는 동일한 시스템에 최대 4개의 반응 챔버를 장착할 수 있으며 파장 균일성, 반복성 및 안정성이 우수한 다중 구역 온도 보상 가열 시스템이 장착돼있다. 최적화 설계된 스프링 클러 헤드가 더 높은 균일성과 출력 안정성을 실현하며, 초대형 흑연 트레이는 생산성을 높이면서 비용도 절감할 수 있다. 

흑연 디스크의 웨이퍼 배열 최적화를 통해 프리즈모 유니맥스의 처리 능력을 확장해 164개의 4인치 또는 72개의 6인치 웨이퍼를 성장시킬 수 있다. 이는 업계 최고 수준이다. 

특히 미니 LED의 업격한 기술 요구 사항을 충족할뿐 아니라 더 높은 가성비 및 생산능력으로 시장의 기대에 부합하는 디스플레이를 생산할 수 있다는 것이다. 

최근 아멕의 프리즈모 유니맥스 MOCVD 장비 주문은 180캐비티를 초과했으며, 미니 LED 시장 성장에 맞춰 지난해 12월 100캐비티 수주를 돌파한 이후 의미있는 실적ㅇㄹ 거두고 있다.