TSMC, EUV 리소그래피 장비 구매량 내년 말 누적 50대 돌파
TSMC, EUV 리소그래피 장비 구매량 내년 말 누적 50대 돌파
  • 유효정 기자
  • 승인 2020.09.29 16:52
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5nm 생산량 목표치도 상향
TSMC의 극자외선(EUV) 리소그래피 장비 대수가 내년 말까지 지속적으로 늘어나는 한편 5nm 등 미세 공정 생산능력도 빠르게 늘어나고 있는 것으로 전해졌다.

29일 중국 언론은 디지타임스를 인용해 TSMC가 매입한 EUV 리소그래피 장비 대수가 내년 말이면 50대를 넘어설 것이라고 보도했다.





TSMC
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