EUV 시대에도 DUV 발전은 계속된다
EUV 시대에도 DUV 발전은 계속된다
  • 안석현 기자
  • 승인 2020.11.24 00:02
  • 댓글 0
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7nm EUV 적용시, 노광 54번에서 28번으로 감소
반도체 시장 전체로 보면 영향 크지 않아
"EUV⋅DUV 함께 발전할 것"
극자외선(EUV) 노광 기술 상용화가 낳은 오해 중 하나가 앞으로 심자외선(DUV) 시장이 크게 위축될 거라는 전망이다. 더 미세한 공정 기술이 나온 만큼, 기존 기술들은 시장이 정체될 거라는 이유에서다. 철기시대 개막이 석기시대를 종식시켰다는 해석과 비슷한 맥락이다. 그러나 EUV 기술이 성숙해가는 시대에도 DUV 기술 발전은 여전히 중요하다. EUV 기술이 적용되는 분야는 비메모리 반도체 중에서도 극히 일부 선단공정에 국한되고, 그 안에서도 몇 개 레이어(Layer)에 한정되기 때문이다. 7nm, EUV 사용하면 DUV 절반 이
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