동진쎄미켐 관계사인 아이노스가 포토레지스트용 원재료 서플라이체인에서 백업 역할을 강화하고 있다. 포토레지스트 3대 구성요소(폴리머⋅감광성화합물⋅퀜처) 중 하나인 폴리머 공급량을 확대하면서 동진쎄미켐의 포토레지스트 원재료 내재화 비중을 높여갈 전망이다.

동진쎄미켐-아이노스, ArF용 폴리머 공급 확대 추진

아이노스는 지난 2002년 설립된 전자재료용 화합물 제조사다. 주요 생산품은 KrF(불화크립톤) 및 ArF(불화아르곤) 포토레지스트에 들어가는 폴리머다. 생산품 대부분은 동진쎄미켐에 공급되는 것으로 추정된다.

그동안 동진쎄미켐은 KrF⋅ArF용 폴리머를 엔씨켐과 미원상사로부터 구매해왔다. 구매 비중은 엔씨켐이 절대적이며, 미원상사가 그 다음이다. 아이노스는 앞의 두 회사와 비교해서는 상대적으로 적은 양을 공급하고 있으나, 동진쎄미켐이 최근 아이노스의 ArF용 폴리머 수급량을 늘리는 방안을 추진하고 있다.

한 반도체 소재 업체 대표는 “KrF 대비 ArF용 폴리머는 특히 엔씨켐의 비중이 절대적으로 컸는데, 최근 아이노스 공급량을 늘리는 방안을 검토하고 있다”고 말했다. 또 다른 반도체 소재 업체 임원은 “동진쎄미켐이 ArF 포토레지스트 공급량이 늘면서 폴리머 공급사 다원화를 추진하고 있다”고 설명했다.

아이노스의 지분 구조나 반도체 소재 서플라이체인에서 내재화 중요성을 감안하면 향후 아이노스의 공급 비중 확대는 필연적이다. 아이노스의 최대주주는 동진홀딩스로, 현재 74.99%의 지분을 보유하고 있다. 동진홀딩스는 이부섭 동진쎄미켐 회장과 이준혁 동진쎄미켐 사장이 지분 73.49%를 갖는 최대 주주다. 사실상 이부섭⋅준혁 부자가 동진홀딩스를 통해 아이노스를 간접 보유한 셈이다. 

동진쎄미켐의 반도체 포토레지스트 사업이 성장할수록 폴리머 수급량은 늘고, 자연스레 아이노스의 폴리머 공급량도 증가할 수 밖에 없다. 아이노스는 2019년에 294억원, 2020년에 328억원의 매출을 각각 기록했다. 올해 연중 내내 반도체 산업이 활황을 유지하면서 2021년 매출은 더 늘어날 여지가 크다.

동진쎄미켐의 KrF는 3D 낸드플래시에, ArF는 D램과 로직반도체 생산에 사용되는 소재다. 낸드플래시 시장이 3D 고적층 구조로 변화하면서 KrF 시장에서는 점유율 1위를 기록 중이다. 동진세미켐은 최근 삼성전자와 EUV(극자외선) 노광용 포토레지스트도 테스트 하고 있는데, 아이노스가 EUV용 폴리머까지는 공급하지 않는 것으로 보인다.

기존 동진쎄미켐 폴리머 공급사인 엔씨켐과 미원상사로서는 아이노스가 껄끄러운 경쟁사가 될 수 있다. 반도체 소재 산업 특성상 단기에 공급 비중이 크게 바뀌지는 않겠지만, 공급망 안정화를 위해서라도 동진쎄미켐이 아이노스를 키워줄 여지가 있다.

시장조사업체 등에 따르면 KrF 포토레지스트 시장 규모는 올해 약 7억달러로, 지난해 대비 1억달러 가까이 성장한 것으로 추산된다. ArF(드라이) 포토레지스트 시장 규모는 2억달러에 달한다.