상보성금속산화물반도체(CMOS) 이미지센서(CIS)는 센서 중에서도 가장 눈부신 발전을 해왔다. 10년 전 210만 화소, 고화질(HD)이 최대치였지만 최근에는 1억 화소가 넘는 이미지센서까지 나왔다. 이와 함께 발전해온 게 공정 기술이다. 최근에는 핀펫(FinFET) 기술까지 접목하려는 움직임이 보이고 있다. 핀펫까지 적용되는 이미지센서업계에 따르면 최근 삼성전자는 14나노 핀펫 공정 기반 이미지센서 개발에 착수했다. 지난해 ‘국제반도체소자학회(IEDM) 2019’에서 파운드리 사업부가 관련 연구 결과를 발표한 데 이어 시스템LS
중국 주요 재료 기업이 반도체 재료 생산을 위한 대단위 투자를 시행한다.중국 후베이성 싱파그룹(XINGFA CHEMICALS GROUP)이 최근 융자계획을 발표하고 8800만 주의 주식을 비공개발행해 8억8000만 위안(약 1513억8640만 원)이 이하 규모의 자금을 모집할 것이라고 밝혔다. 이 금액은 반도체 재료 공장 건설에 투입하게 되며 연간 6만 톤의 초고순도 전자용 화학품 생산 공장, 연간 3만 톤의 전자용 인산 기술 개조 공장 등 건설 프로젝트를 진행한다. 최근 싱파그룹의 자회사인 후베이 시노포러스일렉트로닉매트리얼스(SI
액정단량체(RM, Reactive Mesogen)를 이용해 퀀텀닷(QD) 소재를 균일하게 분산시킬 수 있는 기술이 공개됐다. 이 기술을 활용하면 QD 디스플레이의 발광필터(QDCF) 효율을 높여 색 순도와 발광 효율을 개선하고, 생산 원가를 낮출 수 있을 것으로 기대된다.이신두 서울대 전기⋅정보공학부 교수는 디스플레이 안에서 고순도 광변환 소재로 사용하는 QD를 뭉치지 않게 고루 분산하는 특허를 등록했다고 20일 밝혔다. QD는 빛이나 전기 에너지를 받으면 특정 색상의 빛을 내는 나노소재다.디스플레이 업계는 잉크젯 프린팅, 혹은 사
유기발광다이오드(OLED) 안에는 고마우면서도 패널 효율을 크게 잡아먹어 원망을 받는 소재가 있다. 바로 편광판이다. OLED 안에서 편광판은 화면이 거울처럼 반사돼 보이는 현상을 막아주지만, 빛 밝기의 40%를 감쇄한다. 디스플레이 업체들이 3~4% 휘도 개선을 위해 매년 연구개발(R&D)에 쏟아붓는 노력을 감안하면 허무하리만치 비효율적이다. 편광판을 쓰지 않고도 비슷한 효과를 내는 기술을 개발하기도 했지만 양산 적용은 요원하다.액정 없는 OLED에 편광판은 필요한 이유는? LCD에 두 장의 편광판이 들어가는 것과 달리, OLED
ACM리서치(ACM Research)는 실리콘관통전극(TSV) 및 팬아웃 웨이퍼레벨패키지(FoWLP) 공정에서 발생하는 수율 문제를 개선할 수 있는 연마 장비 '울트라 SFP ap'를 출시했다고 30일 밝혔다.TSV, FoWLP 공정 등 첨단 패키징 공정에서는 여러 가지 결함이 발생한다. TSV의 경우 실리콘 웨이퍼에 구멍(via)을 뚫어 구리를 채우는데, 구리가 지나치게 많이 들어가 웨이퍼 위로 흘러넘치는 문제가 빈번하게 발생한다. FoWLP 공정에서는 웨이퍼 휨(Warpage) 현상으로 인한 불량이 잦다.이 장비는
로직(Logic)에 이어 D램에도 극자외선(EUV) 공정이 도입된다.삼성전자가 업계 처음으로 EUV 공정 기반의 1α나노(14나노) D램 양산 체제를 구축했다. SK하이닉스 역시 차세대 D램에 EUV 기술을 적용할 계획이다. 삼성전자와 마찬가지로 1α 나노부터다. 반면 마이크론은 1c나노까지 액침불화아르곤(ArFi) 기반 심자외선(DUV) 패터닝 기술을 활용할 계획이다. 새로운 기술이다보니 양산 및 램프업(Ramp-up) 기간이 오래 걸릴 것이라는 이유에서다. EUV로 얻을 수 있는 이익과 EUV에 드는 비용, 무엇이 더 큰가그러나
삼성디스플레이와 협력사 임직원 186명이 베트남 정부의 코로나19 확산 방지 입국 규제인 ‘14일 격리 조치’의 예외를 인정받고 현지에 입국해 공장 점검·개편·증설 작업 등에 돌입했다. 지난달말부터 시작된 베트남의 입국 규제 조치후 국내 엔지니어들에 대해 사실상 처음 빗장을 푼 것으로 여겨진다. 베트남 당국은 현지 인력과의 ‘접촉 차단’ 등 준비 상황을 점검한 뒤 코로나19 방역 요건을 충족했다고 보고 입국후 14일 격리 조치에서 배제해준 것으로 알려졌다. 정부 및 업계에 따르면 삼성디스플레이와 협력사 엔지니어 186명은 삼성측이
신종 코로나바이러스감염증(코로나-19) 여파는 어디까지 미칠까. 전방 산업은 수요부터 줄어들고 있고, 공급 또한 여기저기서 차질이 빚어지고 있다. 후방 산업인 반도체도 영향을 받을 수밖에 없다. 당장은 파급력이 크지 않지만 첨단 공정 투자 지연으로 인한 중장기적 타격이 우려된다. 코로나-19에도 가열차게 돌아가는 반도체 생산라인, 하지만... 연초부터 파운드리를 포함한 로직 생산라인과 메모리 생산라인은 거의 100%의 가동률을 기록하고 있다. 서버 업계는 지난해 연말부터 미-중 무역전쟁으로 인한 여파에 대비, 재고를 쌓아두기 시작했
‘세기의 경영자’로 추앙받기도, 인간 ‘중성자 폭탄’이라는 별칭도 얻었던 잭 웰치 전 제너럴 일렉트릭(GE) 회장 겸 최고경영자(CEO)가 향년 84세의 일기로 별세했다. GE는 지난 2일(현지시간) 성명을 통해 잭 웰치 전 회장이 이날 타계했다는 안까타운 소식을 발표하며 애도했다. 웰치 전 회장은 지난 1935년 11월 미 매사추세츠에서 태어났다. 부친은 철도기관사였다. 메사추세츠 에머스트 대학에서 화학공학을 전공하고, 1960년 일리노이대학에서 박사학위를 취득했다.그는 1960년 화학 엔지니어로 GE에 첫발을 들인 뒤 1972년
지난달 우리나라 수출이 15개월만에 상승세로 반전했으나 코로나19라는 돌발 악재의 여파가 현실화하고 있다. 조업일수를 제외한 하루 평균 전체 수출액과 최대 교역국인 중국 수출액이 급감한 것으로 나타났기 때문이다. 코로나19 확산세가 장기화한다면 우리 수출에 미칠 악영향은 더욱 커질 것으로 우려된다. ◇ 수출 15개월 만에 상승세…그러나 코로나19 직접 영향권에 진입1일 산업통상자원부는 지난 2월 수출이 지난해 같은 달보다 4.5% 증가한 412억6천만달러로 잠정 집계됐다고 밝혔다. 지난 2018년 12월부터 14개월 연속 마이너스에
KLA는 집적회로 제조를 위한 이미징 기반 오버레이(Overlay) 계측 시스템 '아처(Archer) 750'과 11K 광학 임계치수(CD) 장비 '스펙트라쉐이프(SpectraShape)'를 출시했다고 26일 밝혔다. 고성능 로직(Logic) 반도체 및 메모리 반도체 제조에 활용 가능하다.반도체는 수백 개의 층으로 구성된다. 각 층에는 저마다의 그림(패턴)이 새겨져있는데, 이 그림이 초기 설계와 정확히 맞아떨져야 반도체가 제 기능을 한다. '아처 750'은 이 때 각 층의 패턴 형상이 이전
미국 행정부가 화웨이에 미국산(産) 장비로 생산된 반도체 수출을 제한하는 방안을 검토하고 있다는 보도가 나오면서 업계가 촉각을 곤두세웠다. 일단 도널드 트럼프 대통령이 트위터에 해당 내용을 부인하는 듯한 글을 올리면서 안심하는 분위기지만 불안감이 완전 가시지는 않았다.코로나바이러스감염증-19(COVID-19) 등 업황에 부정적 요인이 도사린 상태라는 점에서 향후 규제가 현실화 될 가능성에 주목하고 있다. WSJ “미국 장비로 생산된 반도체 수출 제한 검토” 미국 월스트리트저널(WSJ)은 17일(현지시간) 트럼프 행정부가 중국에 대한
APS홀딩스가 일본이 독점한 유기발광다이오드(OLED)용 핵심 소재인 섀도마스크 양산 투자에 나선다. 섀도마스크는 OLED 화소를 정확한 위치에 형성하기 위해 기판 위에 부착하는 소모품이다. 그동안 일본 업체들은 에칭(식각) 방식으로 섀도마스크를 제조해왔으나, APS홀딩스는 레이저 가공 기술을 통해 섀도마스크를 생산할 계획이다.APS홀딩스는 ‘FMM Stick 생산 시설 투자를 통한 미래성장동력 강화’를 위해 198억원을 투자한다고 17일 공시했다. FMM(Fine Metal Mask)은 섀도마스크를 일컫는 또 다른 이름이다. 얇은
AP시스템이 중국 BOE가 충칭 지역에 건설하고 있는 중소형 유기발광다이오드(OLED) 생산라인에 엑시머레이저어닐링(ELA) 장비를 공급한다. AP시스템은 앞서 BOE가 청두(B7)와 몐양(B11) 지역에 건설한 OLED 라인에도 ELA를 양산 공급한 바 있다.AP시스템, 성능평가 단독 통과 AP시스템은 지난해 3분기 말부터 진행된 충칭 OLED 라인용 ELA 성능평가를 지난 4일 단독 통과했다. 성능평가는 실제 공급계약에 앞서 관련 장비의 규격과 생산능력을 사전 테스트하는 단계다. 성능평가를 통과한 업체들을 대상으로 가격 입찰에
최근 반도체 세정 장비 업계를 이끄는 키워드는 ‘친환경’이다.각국이 유해물질 배출 규제를 강화하고 제조사도 원가 절감을 목적으로 소재 사용량 줄이기에 돌입하면서 유해물질 사용량을 저감할 수 있는 기술이 핵심으로 떠올랐다.이에 근 20년간 매엽식(Single) 장비에 밀려 빛을 보지 못했던 배치(Bench) 타입 장비가 다시금 주목받는 모양새다. 수율과 신뢰성은 세정에 달려있다반도체는 밑그림을 그려(노광) 물질을 바르고(증착), 깎아내고(식각), 닦는(세정) 단위 공정을 500~600번 거쳐 만들어진다. 세정은 웨이퍼 표면에 있는 화
중국 디스플레이 업체들이 차세대 유기발광다이오드(OLED) 기술인 저온폴리실리콘옥사이드(LTPO) OLED 투자에 나선다. LTPO OLED는 기존 저온폴리실리콘(LTPS) OLED 대비 전력 소모량을 크게 줄일 수 있는 기술이다. 현재까지는 애플이 ‘애플워치’용 디스플레이로 유일하게 상용화했다. 티안마⋅BOE, LTPO OLED 투자 추진 LTPO OLED 투자에 가장 적극적인 중국 디스플레이 제조사는 티안마와 BOE다. 티안마는 샤먼 지역에 새로 지을 6세대(1500㎜ X 1850㎜) OLED 라인을 LTPO OLED로 투자하는
반도체 제조에 쓰이는 여러 화학 물질 중에서는 황산처럼 인체에 유해한 물질도 있다. 하지만 이를 당장 대체할 재료는 아직 개발되지 않은 상태다. 이에 성능 희생 없이 화학 물질의 소비를 줄일 수 있는 세정 장치에 대한 수요가 증가하고 있다.특히 제조사들이 가장 골머리를 앓는 건 황산 폐기물이다. 대만에서 1년간 사용되는 황산의 절반 이상이 반도체 공장에서 쓰인다. 미국은 황산 폐기물을 매립하고 있지만 환경 오염의 우려가 있다. 한국·대만 등 매립 공간이 제한적인 곳에서는 고온 정화 방법으로 이를 처리하지만, 대량의 에너지를 소비하고
국내 2차전지 업계가 글로벌 전기차 시장을 선점하기 위해 공격적으로 해외 공장 증설에 나서고 있다. 특히 미국․중국․유럽 등 조만간 거대 전기차 시장으로 성장할 주요 거점에서 현지 완성차 업체들과 합작 생산 라인을 확장하고 있다는 점에서 신속한 판로 확보의 의미가 크다. LG화학은 미국 최대 자동차 회사 제너럴모터스(GM)와 전기차 배터리 셀 합작 생산법인을 신설하기로 했다. 기존 미시건 홀랜드 공장 생산능력의 여섯배에 달하는 30기가와트시(GWh)급 생산능력의 대규모다. 이를 위해 지난 5일(현지시간) 양사는 미국 미시간주 GM
중국 장비기업 나우라(NAURA)는 상하이반도체연구개발센터유한회사(ICRD)와 공동으로 나우라의 'NMC612D ICP(inductively coupled plasma) 에칭장비(Etcher) 등 중국산 장비를 채용해 14nm 핀펫(FinFET) 셀프얼라인더블패터닝(SADP, Self-aligned Double Patterning) 관련 공정을 자체적으로 개발했다고 밝혔다. 각 공정 지표가 양산 요구에 부합해 14nm 핵심 공정 기술에 있어 중요한 진전을 이뤘다고 설명했다. 최근 반도체 선폭이 감소하면서 SADP를 통해 19
램리서치는 식각 공정에서 웨이퍼 가장자리(Edge 혹은 Bevel) 부분의 수율을 높여주는 모듈 '콜버스(Corvus)'와 세정 장비 '코로너스(Coronus) 플라즈마 베벨 클린 시스템'을 출시했다고 4일 밝혔다.반도체 웨이퍼는 둥근 모양이다. 그렇다보니 가장자리는 화학적, 물리적, 열적 불연속성을 제어하기 어려워 수율 손실의 위험이 크다. 식각 불균일성을 제어하고 웨이퍼 엣지에서의 결함을 방지하면 수율을 방어할 수 있다.이번에 출시된 두 솔루션은 전 세계 최첨단 노드 제조 시설에서 사용되고 있다. 고