중국 대표 반도체 파운드리 기업 SMIC(中芯国际)의 H주(홍콩증시 상장) 시가총액이 18일 장중 1조위안(약 195조9500억원)을 돌파하면서 사상 최고치를 경신했다. 공정 업그레이드와 사업 내실화가 함께 이뤄지면서 실적 상승 기대감이 높아졌다. 골드만삭스는 최신 보고서에서 SMIC의 H주 목표 주가를 15% 상향 조정한 73.1홍콩달러로 제시한 바 있다.

하루 전날 영국 파이낸셜타임스는 SMIC가 중국 스타트업 위량성과학기술(宇量昇科技)이 개발한 DUV(심자외선) 리소그래피(노광) 장비를 활용해 7nm(나노미터) 공정 시험 가동을 시작했다는 소식이 전해졌다. SMIC는 미국 수출 규제로 ASML의 첨단 리소그래피 장비 도입이 막혀있어 미세공정을 구현하는 데 어려움이 있었다.

이번에 도입한 DUV 장비는 28nm 공정을 지원하지만 멀티 패터닝을 통해 7nm 공정 구현도 가능하다. 부가가치가 높은 AI(인공지능) 반도체를 생산할 수 있다.

이와 더불어 최근 SMIC는 북미SMIC(SMIC North America) 지분 49%를 인수하면서 100% 지배권을 확보했다. 북미SMIC는 지난해 순이익 16억8200만위안(약 3296억원)을 기록한 알짜 사업이다. 이 회사 부채비율은 8%에 불과하다.

SMIC는 내년까지 생산능력을 기존의 3배로 늘릴 계획이고, 위량성 DUV 장비를 이용한 공정은 이르면 2027년 양산을 시작할 예정이다.

한편 위량성은 지난 2022년에 설립된 기업으로, 반도체 리소그래피 장비에 특화했다. 본사는 상하이 푸둥신구에 있다. 반도체 장비 업체 사이캐리어(新凯来技术, SiCARRIER)와 창커웨이(创科微技术)가 각각 지분 50%씩을 보유하고 있다.

사이캐리어는 올 3월 ‘상하이 반도체 컨퍼런스’에서 현재 전세계에서 ASML만 공급할 수 있는 EUV(극자외선) 장비를 개발을 선언했다.