호모게나이저 등 공급

중국 레이저 장비 부품업체가 ASML의 장비에 들어가는 부품을 공급했다고 밝혔다. 

중국 언론 지웨이왕이 인용한 중국 포커스라이트(FOCUSLIGHT)의 투자자교류플랫폼에 따르면, 포커스라이트는 "자사가 네덜란드 ASML 핵심 공급업체인 A사에 리소그래피 장비용 라이트필드(right field) 호모게나이저(homogenizer, 균질기)와 반도체 웨이퍼 어닐링(annealing) 핵심 부품을 공급했다"고 밝혔다. 어닐링은 공정시 손상을 입은 웨이퍼 계면 회복을 위해 온도 변화를 주는 공정이다. 

회사는 다년간 반도체 리소그래피 애플리케이션 영역에서 리소그래피 장비 노광 시스템에 들어가는 핵심 레이저 광학 부품으로 라이트필드 호모게나이저를 세계적 광학 기업 A사에 공급해왔다. 최종적으로 글로벌 하이엔드 리소그래피 장비 업체의 핵심 장비에 적용된다. 최근 몇 년간 라이트필드 호모게나이저 상품이 중국 내 주요 리소그래피 장비 연구개발 프로젝트 및 프로토타입에 적용되고 있다.

 

포커스라이트의 제품 이미지. /포커스라이트 제공
포커스라이트 로고와 사옥 이미지. /포커스라이트 제공

 

포커스라이트는 2007년 설립된 회사로 주로 레이저 산업의 하이엔드 고효율반도체 레이저 부품, 레이저 광학 부품 연구개발, 생산 및 판매를 해왔다. 최근 레이저 산업의 광자 응용 모듈 및 시스템 연구개발, 생산 및 판매로 사업을 확장하고 있다. 이들 제품은 첨단 제조, 의료 건강, 과학 연구, 자동차 애플리케이션, 정보 기술 등에 적용된다. 

지난해엔 TSMC의 공급망에도 진입했다. 

특히 최근 자율주행 핵심 센서가 된 라이다 수요가 증가하는 가운데, 포커스라이트가 이미 자동차 라이다 핵심 기능을 개발, 불미, 유럽 및 아시아 회사들과 협력을 준비하거나 협력 프로젝트를 추진하고 있다. 라이다 제품 신제품 개발도 진행하고 있다. 
 

저작권자 © KIPOST(키포스트) 무단전재 및 재배포 금지