중국 최대 규모의 실리콘카바이드(SiC) 생산 공장이 가동을 시작했다. 

8일 중국산시(山西)방송에 따르면 산시 전형종개(转型综改)시범구에서 중국 CETC(산시)전자정보과기혁신산업파크의 CETC실리콘카바이드재료생산라인이 정식으로 생산에 돌입했다. 이 파크에는 CETC(산시)실리콘카바이드재료산업기지, CETC(산시)전자장비지능제조산업기지, CETC(산시)3세대반도체기술혁신센터, CETC(산시)태양광신재생에너지산업기지가 있다. 

이들 기지가 모두 생산에 돌입할 경우 연간 100억 위안(약 1조7291억 원) 규모의 생산액이 추산되고 있다. 

이중 CETC 실리콘카바이드재료산업기지 1기에는 총 300대의 설비가 투입됐으며 매월 1억 위안 규모의 생산을 하게 된다. 중국 최대 SiC 재료 공급 기지다. 1000묘(亩) 크기의 산업파크에는 십여개의 업종이 있어 산시 지역의 반도체 산업 클러스터에 SiC를 자급할 수 있는 공급망을 완성하는 데 중요한 의의를 가질 것으로 기대되고 있다. 

단결정 실리콘카바이드 웨이퍼는 줄곧 글로벌 난제로 꼽히며 안정적인 단결정 웨이퍼 성장 공정 기술이 핵심이다. 하지만 중국에서는 실리콘카바이드 단결정 기판 재료에 대해 장기적으로 해외에 의존해왔다. 이에 높은 가격과 불안정한 공급으로 중국 내 반도체 산업의 발전을 저해하는 요소로 지적됐다. 

산시 슈오커징티(烁科晶体)유산회사의 리빈 총경리는 실리콘카바이드가 매우 중요한 반도체 원재료인만큼 산시에서 500~100억 위안 규모의 공급망을 이끌것이라고 내다봤다. 

CETC2연구소는 2007년 실리콘카바이드 재료 연구에 착수한 이래 다양한 공정 기술 등을 축적해왔다.