중국 비전옥스는 오는 2월말부터 OLED 제조 기술 중 하나인 SLA(솔리드 스테이트 레이저 어닐링) 를 이용해 OLED를 양산한다고 밝혔다. 쿤산 공장에 이 기술을 적용키로 했다. 

비전옥스는 SLA 방식으로 비정질 실리콘(a-Si)을 폴리실리콘(Poly-Si) 필름으로 결정화하는 데 성공했다면서, SLA를 OLED 양산 공정에 적용하는 첫 사례라고 설명했다. 

SLA는 기존 중소형 OLED 설비투자의 큰 부분을 차지하던 ELA(Excimer Laser Annealing)를 대체하는 기술이다. 비싼 희가스가 필요한 엑시머 레이저 대신 고체인 다이오드를 이용한다는 점에서 운영비 절감 이점이 크다.

SLA는 ELA와 달리 레이저를 형성하기 위해 가스가 아닌 다이오드를 활용한다. 특수 가스를 사용할 필요가 없어 부품 및 소모품 교체 주기가 길다. 비전옥스 측은 SLA의 에너지 변동계수(0.1% 이하)가 ELA(0.2% 이상)보다 우수해 레이저 펄스 에너지 안정성이 크게 향상되고, 화면 색상차이(mura)도 줄어 화질 개선 효과도 있다고 전했다. 

비전옥스는 AP시스템과 1년여에 걸쳐 SLA 기술을 개발했다. 

한편 삼성디스플레이는 필옵틱스, 트럼프와 함께 지난해 중순 SLA 양산 검증을 마쳤지만 해당 장비 발주는 아직 이루어지지 않은 것으로 알려졌다. (관련 콘텐츠:삼성디스플레이-필옵틱스-트럼프, SLA 양산 검증 종료)