글로벌 주요 IDM의 中 공장에 공급

9일 웨이퍼레밸패키징(WLP) 처리 장비 기업 ACM리서치에 따르면 회사는 글로벌 선두 IDM 기업에 두 개의 울트라 씨피알(C pr) 웻 스트리퍼(Wet Stripper) 장비를 재차 공급했다. 

주문된 장비는 IDM 기업의 중국 공장에 공급됐으며, WLP 공정 중 포토레지스트 박리에 사용된다. 

첫 주문 장비는 이미 지난 10월에 공급했으며, 두번째 주문 장비는 내년 1분기 납품 예정이다. 

 

웻 스트리퍼 장비 이미지. /ACM리서치 제공 

 

ACM리서치 관계자는 "WLP에 사용되는 장비는 이미 중국 본토 기업의 인가를 받았으며 이번 두 번의 주문은 ACM리서치가 처음으로 WLP 영역에서 글로벌 주요 고객의 인정을 받은 것"이라며 상품과 생산능력을 검증받았다고 의미를 뒀다. 

울트라 씨피알 웻 스트리퍼는 고효율, 정밀 제어를 실현하면서 안전성을 높이고 WLP 생산능력을 강화했다고 부연했다.

이 장비는 세정을 유연하게 제어하면서 효율성을 극대화할 수 있으며 단독으로 사용하거나 이 회사의 SAPS 메가소닉(megasonic) 세정 장비와 함께 사용할 수 있다. 

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