재조명 받는 레이저 어닐링, 로직→메모리로 영역 확장
재조명 받는 레이저 어닐링, 로직→메모리로 영역 확장
  • 김주연 기자
  • 승인 2019.09.19 00:23
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로직에선 핀펫 도입 후 급속열처리(RTP) 공정 대신 활용
메모리에선 미세구조 복원, 오믹 접합 형성 등에 쓰여
반도체 제조 공정에서 레이저 어닐링(Laser annealing) 기술이 다시 주목받고 있다.

레이저 어닐링 기술은 반도체에서 새로운 게 아니다. 핀펫(FinFET) 공정이 도입된 이후 기존 급속열처리(RTP) 공정의 상당 부분을 레이저 어닐링, 즉 레이저열처리(LTP)가 대체했다.

다시 이 기술이 조명받는 건 메모리 반
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