정부 지원 등에 업고 기술 수준도 향상

6인치 SiC 웨이퍼(오른쪽)와 8인치 웨이퍼. /사진=온세미
6인치 SiC 웨이퍼(오른쪽)와 8인치 웨이퍼. /사진=온세미

중국에서 8인치 SiC(실리콘카바이드, 탄화규소) 웨이퍼⋅에피 공정에 투자하고 있는 업체가 최소 16개에 달하는 것으로 조사됐다. 

시장조사업체 트렌드포스는 탱크블루⋅SICC⋅산안⋅GZSC 등이 8인치 웨이퍼⋅에피 양산을 추진하고 있다고 14일 밝혔다(아래 표 참조). 현재 SiC의 주력 공정은 6인치며, 8인치로 전환할 경우 한 번에 1.78배 더 많은 전력반도체를 생산할 수 있다. 덕분에 칩 1개당 생산원가가 떨어지는데, 탱크블루에 따르면 6인치→8인치 전환시 35% 정도 생산원가가 낮아진다. 

트렌드포스는 중국 SiC 업체들의 기술 수준은 아직 울프스피드⋅코히어런트⋅소이텍 등 글로벌 업체들 수준에는 못미친다고 설명했다. 다만 중국 정부가 전력반도체 분야에 막대한 자금을 지원함으로써 빠르게 선두 업체들을 따라잡고 있다고 부연했다. 

우리나라는 DB하이텍⋅SK키파운드리 등이 SiC 웨이퍼를 이용한 8인치 파운드리 사업을 추진 중이지만, 웨이퍼⋅에피 분야 저변은 미미하다. SK실트론이 인수한 SK실트론CSS(옛 듀폰 웨이퍼 사업부), SKC에서 분사한 쎄닉이 8인치 SiC 잉곳⋅웨이퍼 양산을 추진 중이고, LX세미콘이 에피 사업을 준비하고 있는 정도다. 

국내는 전력반도체 산업이 성장하지 못하다 보니 후방산업에 속하는 SiC 생태계 역시 다양성을 확보하지 못했다. 

 

저작권자 © KIPOST(키포스트) 무단전재 및 재배포 금지