일본 PR(포토레지스트) 공급사 TOK는 올해 AI(인공지능) 반도체 시장 성장에 힘입어 EUV(극자외선) PR 매출이 전년 대비 35% 증가할 것이라고 29일 밝혔다. TOK는 일본 JSR⋅스미토모화학, 미국 듀폰과 더불어 EUV PR 시장을 과점하는 회사다. EUV 뿐만 아니라 ArF(불화아르곤, 시장점유율 16.2%), KrF(불화크립톤, 36.6%), g라인⋅i라인(22.8%) 분야에서도 적지 않은 점유율을 보유하고 있다. 

회사측은 특히 AI 반도체가 EUV 및 ArF PR 시장 성장을 촉진할 것으로 예상했다. AI 반도체로 대표되는 GPU(그래픽처리장치)⋅NPU(신경망처리장치)는 가장 최근 제품 기준으로 4~5nm(나노미터) 공정으로 생산된다. 엔비디아가 내놓은 ‘B200’ GPU 역시 TSMC의 4nm 공정으로 생산됐다. 

통상 7nm 이하부터 EUV 기술이 동원되어야 한다는 점을 감안하면 AI 반도체 산업 성장이 EUV 및 ArF PR 시장 성장을 견인하다는 전망이 타당하다. 선단 공정 제품일수록 DUV(심자외선) 공정 스텝수도 늘어난다는 점에서 ArF 역시 AI 반도체 수혜 범위에 들어간다. 

TOK는 PR 생산능력 제고를 위해 올해 하반기 후쿠시마현 고리야마 산업단지에 신규 생산라인을 착공할 계획이다. 총 투자액은 2000억엔(약 1조7800억원) 이상이며, 양산은 2026년 하반기다. TOK는 한국법인을 통해 경기도 평택시에 신규 공장부지도 확보한 바 있는데, 2027년 공사를 시작해 2028년 양산에 들어간다는 목표다.