-- 임베디드 프로세서, DRAM 및 NAND 웨이퍼 테스트 위해 -40°C에서 최대 2.5kW 방출
뮌헨, 2023년 11월 16일 /PRNewswire/ -- 반도체 제조용 열 관리 솔루션 시장의 선두 주자인 ERS electronic[https://www.ers-gmbh.com ]이 최신 'High Power Dissipation' 서머 척 시스템[https://www.ers-gmbh.com/wafer-probing/our-solutions/high-power-dissipation ]을 출시한다. 이 기술은 -60°C부터 +200°C 온도 범위에서 하이엔드 CPU, GPU 및 고병렬 DRAM 장치의 테스트를 수행하는 동안 DUT의 정확하고 강력한 온도 제어를 가능케 한다.
머신 러닝, 인공 지능 또는 데이터 센터용 CPU와 GPU 같은 복잡한 임베디드 프로세서의 온도 웨이퍼 프로빙과 DRAM 및 NAND 같은 고병렬 테스트 중에는 과열을 방지하기 위해 상당히 많은 양의 전력을 방출해야 한다. ERS electronic의 새로운 'High Power Dissipation' 시스템은 -40°C에서 300mm 척에 최대 2.5kW의 전력을 방출할 수 있다. 단일 다이 테스트는 물론 전체 웨이퍼 접촉 테스트도 가능하다. 또한 추가 옵션으로 이 시스템이 제공하는 온도 균일성은 업계 최고 수준인 -40°C에서 ±0.2°C이며, -20°C에서 +85°C까지는 ±0.1°C에 이르기 때문에 센서 테스트에 이상적이다.
서머 척은 특허를 받은 ERS의 PowerSense 소프트웨어 덕분에 개별적으로 제어할 수 있는 여러 섹션으로 구성돼 있다. 웨이퍼에 전원이 공급되면 열이 높아지는 것을 즉시 감지하고 해당 영역을 냉각해 신속하게 대응한다.
ERS의 새로운 서머 척 시스템에는 높은 온도 균일성과 빠른 방열을 위해 공기 대신 액체로 냉각된 칠러가 제공된다.
'High Power Dissipation' 시스템의 경우 대상 애플리케이션의 손실 요구 사항을 충족할 수 있는 엔지니어링 유체를 사용하기로 신중하게 결정됐다. ERS electronic의 Klemens Reitinger 최고기술책임자(CTO)는 "다른 모든 주요 웨이퍼 테스트 작업에서는 계속해서 공기를 냉각제로 사용하고 있다"고 밝혔다. 그는 "우리 솔루션의 차별점은 저온에서의 탁월한 열 방출 성능뿐만 아니라 ±0.1°C의 온도 균일성과 결합될 수 있는 점"이라면서 "현재 이 시스템에 대한 추가 기능을 개발 중이며, 이를 통해 방출 성능과 섹션 모니터링을 더욱 개선해 완전한 동적 제어가 가능하게 할 것"이라고 설명했다.
Shanghai Jinni의 Liang Wang 부사장은 "ERS의 'High Power Dissipation' 서멀 척 시스템이 하이엔드 프로세서와 DRAM 및 NAND 장비를 테스트하는 동안 발생하는 중요한 문제를 해결하고 있다"고 말했다. 그는 이어 "이러한 IC에 대한 수요가 계속 증가함에 따라 이 시스템에 대한 중국 고객의 관심이 높아질 것으로 예상된다"면서 "고객 평가와 시연을 위해 상하이에 있는 ERS와의 공동 연구소에 이 시스템을 이미 설치했다"고 덧붙였다.
High Power Dissipation 척 시스템은 현재 주문 가능하다.
ERS 소개
ERS electronic는 50년 이상 반도체 산업에 혁신적인 열 검사 솔루션을 제공해 왔다. 특히 빠르고 정확한 웨이퍼 탐침용 공기냉각 기반 서멀 척 시스템과 FOWLP/PLP를 위한 열 디본딩 및 휨 조정 도구로 높은 명성을 얻었다.
사진 - https://mma.prnasia.com/media2/2276166/ERS_electronic.jpg?p=medium600
로고 - https://mma.prnasia.com/media2/2276058/ERS_Logo.jpg?p=medium600