램리서치와 베벨(Bevel) 에처 특허 공방을 벌이고 있는 피에스케이가 관련 특허 무효 심판에서 1승 1패의 중간 성적을 기록했다. 베벨 에처는 램리서치가 시장을 독점하는 품목으로, 지난해 피에스케이가 독자 기술로 국산화하고 시장 진출을 선언했다. 이에 램리서치는 작년 법무법인을 통해 피에스케이에 특허침해 관련 내용증명을 발송하는 등 법정 공방으로 비화한 상태다. 

특허 3건 무효소송 제기한 피에스케이, 1건 인용-1건 기각

지난해 램리서치가 피에스케이에 베벨 에처 특허 침해를 문제 삼자 피에스케이는 올해 1월 램서치가 보유한 총 3건의 특허에 대해 국내 특허심판원에 특허 무효 심결을 청구했다. 램리서치가 보유한 베벨 에처 특허가 무효화 되면 특허 침해의 근거가 사라지게 되므로 향후 피에스케이의 관련 영업 활동이 자유로워진다.

각 특허는 제1265827호, 제1433411호, 제1468221호다. 앞의 두 개는 베벨 에처와 직접 관련된 특허로 보이며, 세 번째 특허는 에처에 공통적으로 쓰이는 ‘프로세스 챔버’와 관련된 특허로 보인다. 

피에스케이는 지난달쯤 특허 심판원으로부터 1265827호 무효 청구는 인용, 1433411호 무효 청구는 기각 결정을 받았다. 이번 결정이 확정되면 전자는 특허로서 효력이 정지되고, 후자는 특허 효력이 유지된다. 마지막 세 번째 1468221호에 대한 심판 결과는 아직 나오지 않았다. 

베벨 에처는 반도체 웨이퍼 가장자리 잔류막을 제거하는데 쓰이는 설비다. 반도체 웨이퍼 공정이 12인치로 넓어지면서 웨이퍼 중앙 부분에 비해 가장자리 에칭이 잘 이뤄지지 않는 난제가 발생하고 있다. 미세 공정이 고도화할수록 이 같은 잔여물은 반도체 팹 수율 향상의 걸림돌이 된다. 베벨 에처는 일반 에처와 달리 이 가장자리 부분에 집중해 에칭 작업을 수행한다. 

한해 베벨 에처 시장 규모는 3000억원 정도로 크지는 않지만 갈수록 쓰임이 늘어나는 분야다. 특히 램리서치 한 개 회사가 독점한 품목을 국내 중견 장비사가 국산화했다는 점에서 반도체 업계 역시 양측의 특허 공방에 촉각을 세우고 있다. 

일단 이번에 나온 특허심판은 형사⋅민사 재판의 1심에 해당한다. 양측이 심판 결과에 승복하지 않으면 특허법원에 심결취소소송(2심)을, 대법원에 상고심(3심)을 제기할 수 있다. 아직 심판 결과도 나오지 않은 1468221호에 대한 특허심판원 결과도 기다려 봐야 한다. 

특허 무효 소송은 출원인(이번 사안은 램리서치)에 불리한 결과가 나올 것으로 보이면 중간에 서로 라이선스를 맺는 방식으로 합의하기도 한다. 소송을 종국까지 가져가다가 자칫 특허가 완전히 무효화 될 수 있어서다. 차라리 둘 사이에 계약을 맺고 후발주자 진입을 막는 게 낫다. 

이번 베벨 에처와 관련한 특허 무효 소송은 양측이 1승 1패로 물고물린 상태라는 점에서 향후 전망을 가늠하기 어렵다. 다만 어느 한 특허라도 효력이 유지된다면 반도체 업체 입장에서는 피에스케이 베벨 에처를 구매하기 꺼려질 가능성도 있다. 따라서 피에스케이는 기각 결정을 받은 심결(1433411호 관련) 만큼은 끝까지 법의 판단을 받아내려 할 것으로 보인다. 

한 반도체 전문 변리사는 “에처 시장에서 램리서치의 영향력이 워낙 크기에 특허 문제를 클리어하게 해결하고 가지 않으면 향후 추가 손배 소송 등이 뒤따를 수도 있다”며 “아직은 공방 초기인 만큼 이후 추이를 지켜봐야 할 것”이라고 말했다.