반도체 공정용 화학소재 전문 기업 램테크놀러지(대표 길준봉)가 200억원 규모의 공장증축 및 시설증설 투자를 결정했다고 8일 공시했다.

이번 시설투자는 반도체용 질화막 식각액에 대한 자동화 생산 설비 증설과 종합분석센터 구축, 산화막 식각액 설비 증설, 고선택비 질화막 식각액 설비 보완 등을 위한 것으로, 기존의 충남 금산공장 부지에서 진행할 계획이다. 투자 기간은 오는 2024년 2월말까지이며, 자동화 생산 설비부터 순차적으로 가동될 예정이다.

반도체용 질화막 식각액 생산에 대한 자동화 설비 도입 및 산화막 식각액 설비 증설이 마무리 되면 기존의 생산능력 대비 2~3배정도 생산성이 확대될 것으로 예상되고, 제품 품질 향상 및 효율성도 높아질 것이라고 회사측은 설명했다.

한편 램테크놀러지는 지난 6월 '고선택비 질화막 식각액 검증을 위한 배치형 식각 장치' 특허를 등록하는 등 HSP(High Selectivity Phosphoric acid) 사업 진출을 위해 제품 개발에 주력하고 있으며, 이번 고선택비 질화막 식각액 설비 보완으로 제품 생산에 박차를 가할 계획이다.