영우디에스피는 산업통상자원부가 주관하는 ‘10나노 이하 반도체 결함 검사장 비용 자외선 렌즈모듈 실장 성능평가 기술개발’ 세부주관기관으로 선정됐다고 28일 밝혔다. 영우디에스피는 그동안 국내외 고객사에 디스플레이용 검사장비를 주력으로 공급해왔다. 이번 과제를 통해 반도체 검사 분야로 제품군을 늘릴 수 있을 것으로 기대하고 있다.

산업통상자원부가 주관하는 본 과제는 3가지 세부 부분으로 나뉘어져 있으며, 영우디에스피는 3세부 과제를 담당하게 되었다. 해당 과제의 사업기간은 20204년까지이며, 총 정부지원금은 194억5000만원이다.

3세부 과제의 목표는 반도체 DUV(심자외선) 대물렌즈 실장 및 성능평가용 IQC(수입검사)와 검사기 시스템을 개발하는 것이다. 영우디에스피는 주관기관으로서 역할을 수행하고 대일시스템⋅금오공대⋅국민대⋅애리조나대가 공동연구개발기관으로 참여한다.

영우디에스피는 이번 과제를 기반으로 실장 성능평가를 위한 검사기 시스템과 10나노급 반도체 웨이퍼 검사기술 개발을 추진한다. 이를 바탕으로 본격적인 반도체 검사장비 사업화를 진행할 방침이다.

이를 통해 반도체 장비 및 소재부품 국산화에도 기여할 전망이다. 한국산업기술평가관리원에 따르면 국내 반도체 측정 및 분석기술의 국산화율은 35%, 소재부품 국산화 수준 역시 30% 정도에 불과하다. 

박금성 영우디에스피 대표는 “그동안 디스플레이 및 반도체 장비를 개발하면서 축적한 초정밀 광학 설계 및 계측, 검사 알고리즘 및 AI 기술 등을 바탕으로 반도체 초미세 결함 검사장비 개발 및 관련 소재부품 국산화에 최선을 다하겠다”고 말했다.