아이씨디머트리얼즈가 ESC(정전척) 사업 확대에 따라 실적이 가파르게 개선되고 있다. 아이씨디머트리얼즈는 건식식각장비 전문업체 아이씨디가 부품사업 전문화를 위해 지난 2018년 분사한 회사다.

ESC 사업 구조상 모회사 사업에 매출이 연동된다는 점에서 향후 실적 개선 여지도 크다. 

ICDM, ESC로만 지난해 338억원 매출

아이씨디머트리얼즈는 지난해 매출 338억원에 영업이익 51억원을 기록했다. 이는 지난 2019년 대비 매출은 65%, 영업이익은 104% 증가한 수준이다. 이 기간 영업이익률은 15%에 이른다.

아이씨디머트리얼즈의 주력 사업은 ESC 공급 및 재생이다. ESC는 반도체⋅디스플레이 식각 공정 중 웨이퍼나 유리기판을 붙잡아주는 부품이다. ESC에 강력한 전기장을 걸어 정전기 힘을 이용해 웨이퍼⋅유리기판을 붙인채로 식각 공정을 수행한다.

아이씨디머트리얼즈는 주로 디스플레이용 ESC를 공급한다. 과거 디스플레이 유리기판은 클램핑(조임쇠)을 이용해 고정하기도 했다. 그러나 클램핑 부분에 기판 왜곡이 생겨 수율이 저하되기 때문에 요즘은 100% ESC를 이용해 유리기판을 고정한다. ESC는 한때 일본 부품업체로부터 수입하기도 했으나, 요즘은 아이씨디머트리얼즈를 비롯해 국산화 업체가 다수 포진해 있다.

최근 이 회사 실적이 가파르게 상승하는 것은 모회사인 아이씨디의 낙수효과 덕이 크다. 아이씨디는 삼성⋅LG디스플레이의 건식식각장비 공급사인데, 아이씨디가 장비를 공급할 때마다 자회사인 아이씨디머트리얼즈의 ESC가 함께 공급되는 구조다. 

아이씨디는 지난해 매출 3089억원을 기록해 전년 대비 두 배 이상 늘었다. 아이씨디 매출이 늘어난 만큼, 자회사 아이씨디머트리얼즈 매출 역시 동반 성장한 셈이다.

특히 ESC는 장비 가동률이 높아질수록 주기적으로 유지보수해야 하는 소모품이라는 점에서 연속적인 매출 실현이 가능하다. ESC는 식각 장비 안에서 부품 내부를 보호하기 위해 알루미나(Al₂O₃)나 이트리아(Y₂O₃)로 코팅하는데, 공정이 진행될수록 이 코팅이 떨어져 나간다. 

코팅이 벗겨지면 챔버 내부에 이물이 생기거나 ESC 자체가 데미지를 입을 수 있는 탓에 챔버 외부로 반출돼 재생 과정을 거쳐야 한다. 재생은 말 그대로 벗겨진 코팅을 복구하는 작업인데, ESC 공급한 사례가 늘수록 재생을 위해 들어오는 잠재적 일감도 늘어날 수 있다. 요즘처럼 디스플레이 업황이 호황이어서 업계 전반적으로 가동률이 높아지면 ESC 재생 수요도 그 만큼 늘어날 수 밖에 없다. 

아이씨디는 지난 2018년 ESC 사업부문을 물적분할해 아이씨디머트리얼즈를 설립했으며, 현재 지분 100%를 보유하고 있다. 아이씨디머트리얼즈 관계자는 “모회사 장비 공급 증가와 디스플레이 업계 전반적인 가동률 상승 덕분에 ESC 수요가 늘고 있다”고 설명했다.