식각 장비 소모품, 아직도 엔지니어 손으로 교체?
식각 장비 소모품, 아직도 엔지니어 손으로 교체?
  • 김주연 기자
  • 승인 2019.04.29 17:15
  • 댓글 0
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램리서치, 식각 장비용 자가 유지보수 솔루션 개발… 1년간 중단 없이 가동
▲식각 장비 위 반도체 웨이퍼./램리서치

아무리 좋은 장비를 써도 자꾸 가동을 중단하면 생산성이 떨어지기 마련이다. 그런데 반도체 제조 장비 중 주기적으로 꼭 멈춰줘야 하는 장비가 있다. 식각 장비다.

식각 장비 내부에 들어가는 부품은 플라즈마 공정 과정에서 부식된다. 때문에 이 부품을 월 혹은 주 단위로 꺼내 세정·교체하는 등의 유지보수를 진행한다. 이 때 많은 시간과 인력이 필요하고, 전체 공정의 처리량(Throughput)에 영향을 주기 때문에 일정을 잡는 것도 쉽지 않다.  

램리서치(Lam Research)는 자사 식각 장비를 쓰는 고객사들이 생산성을 높일 수 있도록 자가 유지보수 솔루션을 개발 및 적용해 1년간 생산 중단 없이 장비를 가동했다고 29일 밝혔다.

램리서치가 개발한 자가 유지보수 솔루션은 '장비 인텔리전스(Equipment Intelligence) 솔루션' 중 하나로, 자가 인식, 자가 유지보수 및 적응식 장비와 공정의 핵심 요소를 통합해 구현했다. 

자가 유지보수 솔루션에는 램리서치의 '키요(Kiyo)' 프로세스 모듈, 진공 트랜스퍼가 장착된 자동 소모품 교체 시스템 '콜버스(Corvus) R', 챔버 구성품, 최적화된 웨이퍼리스 자동 세정 기술이 포함돼있다. 

이 솔루션이 부착된 장비는 부품 교체 시점을 스스로 판단, 현장 엔지니어가 챔버를 열지 않아도 자동으로 부품(엣지링)을 교체한다. 장비 가동 정지 시간이 줄어들어 생산성이 향상된다.

바히드 바헤디(Vahid Vahedi) 램리서치의 부사장이자 식각 제품군 사업부장은 “이는 램리서치가 고객사들과 협업해 가장 어려운 기술과 생산성 문제를 해결하기 위해 전념하고 있다는 사실을 보여주는 사례"라며 "반도체 제조사들이 더 빠르고, 정확하고, 쉽게 생산성을 높일 수 있도록 4차 산업혁명 기술을 구현하는 데 전념하고 있다"고 말했다.

 

 



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