BOE에 이어 중국 2위 디스플레이 업체인 차이나스타옵토일렉트로닉스(CSOT)도 중소형 유기발광다이오드(OLED) 장비 발주에 속도를 내고 있다. KIPOST는 지난 5월 17일 보도된 “CSOT 6세대 LTPS⋅OLED 추가 발주...한국 업체 수주 결과는?” 이후 발표된 CSOT의 장비 발주 현황을 집계했다. 

아래는 그 결과로, 총 28개 장비에 대해 평가를 마쳤거나 낙찰자를 확정했다. 그 중 한국 업체 수주가 확정된 곳은 9개였다.

주목할 점은 CSOT가 삼성디스플레이가 특허를 보유하고 있는 바이텍스 공법을 도입할 것으로 보인다는 점이다. 바이텍스 공법은 OLED를 산소와 수분으로 부터 보호하기 위해 봉지(인캡슐레이션)하는 기술이다. 

전공정이 끝난 OLED 위에 유기물-무기술-유기물을 차례로 적층해 산소⋅수분 침투를 막는다. 삼성디스플레이는 원래 유⋅무기물을 7층으로 쌓았다가 5층으로 줄였고, 최근에는 3층까지 줄여 공정 속도를 높였다. 

아래 발주 결과 중 미국 카티바가 공급하는 잉크젯 프린팅 장비가 유기물을, 어플라이드머티리얼즈의 플라즈마화학기상증착장비(PECVD)가 무기물을 증착하는데 쓰인다. 유기물로는 아크릴계 모노머가, 무기물은 고순도 알루미나(Al₂O₃)가 사용된다.

삼성디스플레이는 바이텍스 공법과 관련된 특허를 2011년 바이텍스로부터 매입해 독점적으로 사용할 수 있는 권리를 획득했다. 최근 11세대 LCD 라인에 공동 투자하는 등 CSOT와 삼성디스플레이 간 밀월관계가 강화되고 있지만, 양사 간에 바이텍스 특허와 관련해 어떤 논의가 오갔는지는 알 수 없다.

이 때문에 프랑스 인캡슐릭스에 발주한 원자층증착(ALD) 박막봉지 장비가 어떤 역할을 할지도 주목된다. ALD 박막봉지는 바이텍스와 달리 원자 단위의 입자를 균일하게 증착해 산소⋅수분을 막는 기술이다. 바이텍스와는 기술 갈래가 달라 특허를 회피할 수 있다. 그러나 ALD 증착 기술 자체가 워낙 수율이 낮고, 공정 속도가 늦어 CSOT가 이를 제대로 활용할 수 있을지는 미지수다. LG디스플레이 역시 바이텍스 특허 회피를 위해 ALD 도입을 검토했으나 느린 공정 속도 탓에 최종 포기한 것으로 알려졌다. LG디스플레이는 경북 구미 ‘E5’ 라인에 바이텍스 봉지 공정을 도입하기 위해 장비를 셋업 중이다.