중국 CETC가 그룹 내 자원을 통합해 반도체 장비 브랜드를 출범하고 이온 주입기 등 다양한 반도체 제조 장비 연구개발을 확대한다.

중국 CETC 산하 CETCZB(中电科电子装备集团有限公司)가 반도체 장비 브랜드 ‘세미코어(SEMICORE)’를 발표하고 공정 장비 연구개발, 제조, 서비스 기술을 통합하겠다고 밝혔다. 군(军)공과연구원의 자원도 결합해 집중적으로 반도체 장비 핵심 기술을 개발할 계획이다.

CETC의 리쇼우우 부총경리는 중국 신화사와 인터뷰에서 “반도체 제조 장비 없이 반도체의 미래는 없다는 점은 이미 모두의 공감대를 형성하고 있다”며 “반도체 장비, 특히 반도체 제조 장비는 전체 전자정보 산업의 기초 환경과 가치 사슬의 하이엔드 영역으로서 중국의 전략적 신흥 산업과 국민 경제의 질적 발전에 중요한 의의를 가진다”고 설명했다. 

▲CETC 로고. /CETC 제공

리 부총경리에 따르면 최근 몇 년간 CETC는 반도체 관련 핵심 기술을 축적해왔다. 핵심 장비 공정 개발 검증 플랫폼과 장비 공유 기술 연구개발 플랫폼도 구축했다. 반도체 핵심 장비를 발전시키면서 이온 주입장비, 화학기계연마장비 등 일부 기술에서 성과를 냈다. 동시에 신형 디스플레이 장비와 태양광 장비, 배터리 재료 장비 등 반도체 장비 보다 폭넓은 영역에서 제품을 개발했다.

그 결과 최근 이미 12대의 12인치 이온 주입기를 베이징 SMIC 양산라인에 공급했다. 28nm 라인에도 양산 적용 중이며 12인치 웨이퍼 누적 생산량이 300만 장에 이른다. 200mm CMP 톈진 공장 검증 역시 순조롭게 진행되고 있다.

회사는 이번 세미코어 브랜드 발표를 통해 장비 연구개발에 더욱 속도를 내고 인재를 양성하는 한편 해외 인재도 적극적으로 영입해 핵심 기술 확보에 나선다. 이온 주입기와 CMP 등 장비를 생산라인에 대량으로 적용시킬 수 있는 방안을 모색한다.