ASML이 일부 기업의 첨단 공정 포기에도 중국 시장 전망은 밝게 내다보고 있다.

ASML 천보(沈波) 중국지역총재가 최근 열린 중국반도체제조연회에 참석해 UMC와 글로벌파운드리가 7nm 이하 첨단 공정 연구개발을 포기했지만 ASML의 극자외선(EUV) 장비 전망은 매우 낙관적이라는 취지로 말했다.   

앞서 중국 SMIC가 올해 한 대의 ASML EUV 노광 장비를 주문했으며 내년 납품돼 7nm 공정에 사용될 것이란 보도가 나왔다.

▲ASML의 장비.

기존 이머전 노광장비에 대해 천 총재는 “올해 하반기 ASML은 가장 첨단 시리즈인 ‘NXT:2000i’ 출하를 이미 시작했다”며 “곧 중국 시장에서 볼 수 있게 될 것”이라고 말했다.

최근까지 중화권 언론에 보도된 바에 따르면 창장메모리(YMTC), 상하이 화훙반도체가 각각 ASML에 193nm 이머전 노광장비와 193nm 더블워크테이블 이머전 노광장비 ‘NXT:1980Di’를 주문했다. 각각 메모리 반도체 제조와 파운드리에 쓰인다.

ASML은 올해 1분기와 2분기 실적에서 중국 본토 매출이 전체 매출의 20% 가량을 차지했다. 미국과 유사한 수준이며 대만을 뛰어넘은 것이다.

ASML은 올해 EUV 노광장비 생산능력이 20대에 이를 것으로 보고 있으며 내년 이후 이를 40대로 늘릴 계획이다.