국내 반도체 스크러버 장비 업체들이 중국 시장에서 속속 수주 실적을 기록하면서 수출길을 열고 있다. 국내 중견 반도체 장비 기업들이 주요 고객사인 삼성전자⋅SK하이닉스 영업에 치중한 상황이지만 핵심 전공정이 아닌 후공정과 설비 분야 업체들은 중국 진출이 더욱 활발해질 전망이다.

현재 2단계 투자가 진행 중인 중국 파운드리 업체 넥스칩은 최근 가열습식(Burn-wet) 방식 스크러버 공급사로 글로벌스탠다드테크놀로지(GST)를 선정했다. 듀얼타입, 싱글타입을 모두 공급한다. 이에 앞서 올해 초 1단계 투자 당시에는 유니셈이 넥스칩에 같은 방식의 스크러버를 공급한 바 있다.

스크러버는 반도체 공정에서 배출되는 유해 가스를 정화하는 장비로, 정화 물질을 기준으로 수처리(wet) 하거나 화학약품을 이용하는 드라이(Dry) 방식으로 분류되고, 열을 이용하는 가열식(Burn), 플라즈마를 발생시켜 가스를 분해하는 플라즈마식 등 유해 가스와 정화 수준, 유지관리 수준 등에 따라 다양한 형태로 제작된다.

반도체, 디스플레이, 발광다이오드(LED) 공장에서 사용하는 화학물질 종류가 점점 많아지고, 한국과 중국의 관련 분야 투자가 활황을 보인 데 따른 것이다.

디스플레이와 달리 국내 반도체 전공정 장비 업계는 중국 투자에 다소 소극적이다. 대표적인 국내 장비사인 원익IPS는 삼성전자와 SK하이닉스에 3D낸드플래시의 층고를 높이기 위한 ‘3D 스택온(Stack on)’ 장비를 동시에 공급하지만 중국 시장은 진출하지 않고 있다. 다른 업체들도 중국에 디스플레이 장비를 판매하는 데는 열심이지만 반도체 분야는 뚜렷하게 실적을 내는 곳이 눈에 잘 띄지 않는다. 

업계 관계자는 “중국의 ‘반도체 굴기(崛起)’를 의식해 중국 진출은 최대한 늦추려는 기류가 있다”며 “공정 핵심 기술에서 상대적으로 벗어난 장비, 설비 업체들의 중국 진출이 먼저 이뤄질 것”이라고 전했다.