반도체 파면 위상 이미징(wavefront phase imaging, WFPI) 계측 전문기업인 우프틱스(Wooptix)는 반도체 웨이퍼의 형상과 기하구조를 나노미터 이하의 분해능으로 극도로 정밀하면서도 초고속으로 측정할 수 있는 '페멧(Phemet®)' 계측 시스템을 새롭게 출시했다고 20일 밝혔다. 이 시스템은 18일부터 21일까지 독일 뮌헨에서 열리는 세미콘 유로파(SEMICON Europa)에서 선보인다. 

완전 자동화된 페멧 계측 시스템은 전체 실리콘 웨이퍼를 단일 이미지로 측정해 웨이퍼의 형상과 나노토포그래피(nanotopography)는 물론 휨, 뒤틀림, 기타 맞춤형 파라미터들을 포착한다. 이 시스템은 블랭크, 패턴화 또는 본딩된 웨이퍼를 측정할 수 있는 다목적 계측장비이다. 페멧은 소음이 적고, 진동에 대한 내성을 갖추고 있어 측정의 정확도를 향상시킨다. 

페멧은 독자적인 파면 위상 이미징(WFPI) 기술을 적용해 웨이퍼의 빛 분포를 포착하고 자체 알고리즘을 사용하여 위상 맵을 구축한다. WFPI 기술은 웨이퍼의 전체 지형도(topography)와 뒤틀림을 포함한 시료의 상세 정보를 담은 서브나노미터 분해능의 파면 위상 맵을 신속하게 획득할 수 있으며, 4,700 x 4,700 픽셀의 초고분해능을 제공한다.

한편 우프틱스는 삼성벤처투자, 인텔 캐피탈, TEL 벤처 캐피탈 등을 포함한 투자자들로부터 3,500만 달러 이상의 투자를 유치했다.