난야 "즉시 UPS 가동...피해 없어"
13일 오후 1시35분 대만 북부 일부 지역에서 정전이 발생해 D램 생산라인 일부가 영향을 받았다고 대만 테크뉴스가 보도했다. 해당 매체에 따르면 이날 정전이 발생한 곳은 린커우⋅타이산⋅신좡 3곳이며, D램 제조사 난야와 마이크론이 피해 상황을 점검하고 있다.
난야는 이번 정전으로 약 20분 정도 전원 공급이 끊겼으나 UPS(무정전전원공급장치)가 즉각 가동되면서 직접적인 피해가 발생하지는 않았다. 특히 포토리소그래피 공정에 속한 주요 설비들은 내부분 UPS 보호 아래 있는 것으로 알려졌다. UPS 지원을 받지 못하는 설비들도 있는데 현재 이들에 대한 점검이 이뤄지고 있다고 테크뉴스는 설명했다.
마이크론 역시 피해가 미미하다고 밝혔다. 마이크론측은 순간적인 전압강하가 기록됐지만 실제 정전으로 이어지지는 않았다고 부연했다. 현지에서는 마이크론의 건식 식각장비 및 웻 설비들이 영향을 받았다는 소식이 전해졌는데 회사측은 이를 부인했다.
D램은 한번 웨이퍼가 투입된 뒤 완제품으로 나오는데 2~3개월 정도 소요된다. 이 때문에 가동 중인 라인에 정전이 발생하면, 최악의 경우 장비에 로딩된 웨이퍼들을 폐기처분 해야 할 가능성도 있다. 난야는 선단공정 D램 회사는 아니기에 시장에 주는 영향이 적겠지만, 마이크론 D램 라인 피해가 확인될 경우 D램 시황에 일부 공급제한 이슈가 발생할 수도 있다.
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