SK하이닉스가 투자한 산업용 AI 기업인 가우스랩스(대표 김영한)는 AI 기반 가상 계측 솔루션 ‘Panoptes VM(Virtual Metrology)’의 2.0 버전을 출시했다고 13일 밝혔다.

반도체 계측은 반도체 제조 과정에서 소자의 물리적, 전기적 특성이 생산 공정별로 제대로 충족됐는지 측정하는 작업이다. 

Panoptes VM은 장비에 설치된 센서에서 수집한 데이터를 활용해 제조 공정 결과를 예측하는 가상 계측 AI 솔루션이다. 이 솔루션을 적용하면 물리적인 전수 계측 없이도 모든 제품의 공정 결과값을 예측할 수 있어 시간과 자원을 획기적으로 줄일 수 있다.

가우스랩스는 "이번에 출시한 Panoptes VM 2.0은 신규 모델링 기능들을 적용해 기존 버전 대비 예측 정확도와 사용성을 크게 개선했다"고 강조했다. .

앞서 가우스랩스는 2022년 11월 Panoptes VM 1.0을 출시했다. 이를 SK하이닉스는 같은 해 12월부터 양산 팹에 도입해 박막 증착 공정에 적용했다. 그 후 Panoptes VM을 통해 가상 계측한 결과값으로 공정 산포를 약 29% 개선했고, 수율 또한 향상되는 효과를 얻었다.

이에 SK하이닉스는 성능이 개선된 이번 솔루션을 식각 공정까지 확대 적용하기로 했다. 이를 위해 가우스랩스는 '멀티 스텝 모델링(Multi-step Modeling)' 기능을 이번 솔루션에 추가했다. 이는 예측하고자 하는 공정과 앞서 진행된 공정의 데이터를 함께 활용해 모델링을 할 수 있는 기능으로 이전 공정의 영향을 많이 받는 식각 공정에 이 기능을 활용하면 가상 계측의 정확도를 높일 수 있다.

가우스랩스 기술진은 유사 공정의 데이터를 통합해 가상 계측에 활용, 데이터 부족으로 발생할 수 있는 문제를 최소화한 '유사 공정 통합 모델링(Operation-group Modeling)' 기능과 데이터 특성에 따른 최적의 예측 알고리즘을 자동으로 선택해주는 '알고리즘 자동 선정(Automatic Model Selection)' 기능도 추가해 가상 계측 품질과 사용자 편의를 동시에 개선했다고 설명했다.