BOE가 주축이 돼 설립한 신이화(欣奕華, Sineva)가 반도체용 AMHS(자동이송시스템)를 국산화하는데 성공했다. 

중국 매체 FP디스플레이는 신이화가 한 중국 반도체 기업에 8인치 웨이퍼용 AMHS를 양산 공급했다고 9일 보도했다. 신이화로부터 AMHS를 구매한 현지 반도체 회사가 어디인지는 밝히지 않았다. 

AMHS는 반도체 제조라인에서 웨이퍼 저장용기(FOUP)를 자동 이송하기 위한 체계 전체를 의미한다. 먼지 발생과 진동을 최소한으로 줄이면서 최대한 빠른 속도로 저장용기를 이송하고, 병목 없이 적시에 공정장치에 이송되도록 제어하는 게 핵심이다. 

역할에 따라 천장이송장치⋅스토커(Stocker)⋅층간이송장치(Lifter)⋅무인이송차량 등으로 구성된다. 

FP디스플레이는 ‘엔드 투 엔드', 다시말해 공정의 시작부터 끝까지 이르는 AMHS의 소프웨어와 하드웨어를 모두 신이화 자체 기술로 공급했다고 설명했다. 그러면서 “AMHS가 반도체 생산라인의 생산성과 수율에 결정적인 역할을 하고 있다”며 “신이화의 8인치 AMHS 국산화는 반도체 산업에서 큰 획을 긋는 사건”이라고 설명했다. AMHS 시장 규모는 2022년 24억7000만달러(약 3조4000억원)에서 매년 6.1%씩 성장해 2028년에는 35억2000만달러에 이를 것으로 예측된다. 이 방면에서 1위는 일본 다이후쿠다. 

한편 신이화는 산업용 로봇 기술 국산화를 목표로 지난 2013년 설립된 회사다. 설립 과정에서 BOE 창립자인 왕둥성 회장과 BOE 출신들이 주축이 돼 BOE 관계사로 분류된다. 본사는 베이징이지만 로봇 생산라인은 BOE B9 공장이 위치한 허페이시에 있다. 사업 초기 BOE로 공급되는 디스플레이 생산 설비 업체들로부터 ‘통행세'를 받으며 성장했다.